真空腔室Ф246×260mm,304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
分子泵國產(chǎn)FF-63/80分子泵
前級泵機械泵
真空規(guī)全量程真空規(guī)
蒸發(fā)源電阻蒸發(fā)源(兼容金屬與有機蒸發(fā))3組,可切換使用
蒸發(fā)電源2000W直流蒸發(fā)電源1臺,供3組蒸發(fā)源切換使用
控制系統(tǒng)PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套
冷水機LX-300
膜厚儀FTM-107A單探頭
前級閥GDC-25b電磁擋板閥1套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺可拆卸式60×60mm,具備水冷、旋轉(zhuǎn)功能
真空管路波紋管、真空管道等1套
設(shè)備機架機電一體化
預(yù)留接口CF35一個
輔件備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
電阻蒸鍍機是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、光學(xué)薄膜等領(lǐng)域。其工作原理是通過將金屬或其他材料加熱至蒸發(fā)點,形成氣相,然后在基材表面凝結(jié)形成薄膜。
電阻蒸鍍機的主要組成部分包括:
1. **電阻加熱元件**:通常采用鎳鉻合金或鎢等材料,能在通電時產(chǎn)生高溫,將待蒸鍍的材料加熱至蒸發(fā)。
2. **真空系統(tǒng)**:通過抽真空來降低氣壓,減少氣體分子之間的碰撞,確保蒸發(fā)的材料能夠有效沉積在基材表面。
3. **冷卻系統(tǒng)**:用于冷卻基材或其他組件,防止過熱和確保沉積質(zhì)量。
4. **控制系統(tǒng)**:用于監(jiān)測和控制蒸鍍過程中的參數(shù),如溫度、蒸發(fā)速率、沉積時間等。
電阻蒸鍍的優(yōu)點包括沉積速度快、膜層均勻、附著力好等,但也存在一些限制,如材料的選擇限制、設(shè)備成本較高等。
在實際應(yīng)用中,電阻蒸鍍技術(shù)可以實現(xiàn)多種功能薄膜的制備,比如反射鏡、抗反射涂層、導(dǎo)電膜等。
熱蒸發(fā)鍍膜機是一種常用于薄膜沉積的設(shè)備,其主要特點包括:
1. **高純度鍍膜**:由于采用高溫加熱源,能有效蒸發(fā)材料,沉積出的薄膜通常具有較高的純度。
2. **良好的均勻性**:通過合理設(shè)計源與基片之間的距離,可以實現(xiàn)較均勻的膜層厚度。
3. **適用范圍廣**:可以用于多種材料的沉積,包括金屬、半導(dǎo)體及一些絕緣材料。
4. **沉積速率可調(diào)**:通過調(diào)節(jié)加熱溫度和蒸發(fā)源的功率,可以實現(xiàn)不同沉積速率,滿足不同應(yīng)用需求。
5. **操作簡便**:熱蒸發(fā)鍍膜機的操作相對簡單,適合實驗室及工業(yè)生產(chǎn)使用。
6. **適配性強**:可以與其他設(shè)備如真空系統(tǒng)、光學(xué)測厚儀等配合,提升沉積效果和膜層質(zhì)量。
7. **成本效益高**:相較于其他鍍膜技術(shù),熱蒸發(fā)鍍膜機的設(shè)備投資和運行成本通常較低。
8. **膜層控制能力強**:可以通過調(diào)整蒸發(fā)時間和材料供應(yīng)來實現(xiàn)膜厚的控制。
總的來說,熱蒸發(fā)鍍膜機以其優(yōu)良的膜層質(zhì)量和較為簡單的操作,在科研和工業(yè)應(yīng)用中廣泛使用。

蒸發(fā)舟是一種常用于材料科學(xué)和薄膜制備的設(shè)備,特別是在物相沉積(PVD)技術(shù)中。蒸發(fā)舟的主要作用是通過加熱將固態(tài)材料轉(zhuǎn)化為氣態(tài),以實現(xiàn)薄膜的沉積。蒸發(fā)舟蒸發(fā)顆粒的特點主要包括以下幾個方面:
1. **均勻性**:蒸發(fā)過程中,顆粒的蒸發(fā)速率較為均勻,能夠在基底上形成均勻的薄膜。
2. **可控性**:通過調(diào)節(jié)加熱溫度和加熱時間,可以控制蒸發(fā)速率,從而調(diào)節(jié)薄膜的厚度和組成。
3. **材料兼容性**:蒸發(fā)舟可以用于多種不同材料的蒸發(fā),如金屬、氧化物和高分子材料等,適應(yīng)性較強。
4. **顆粒尺寸**:蒸發(fā)顆粒的尺寸通常較小,有助于加快蒸發(fā)速度,提升薄膜的沉積效率。
5. **高純度**:蒸發(fā)舟中使用的材料一般要求高純度,以確保終薄膜的性能和質(zhì)量。
6. **熱穩(wěn)定性**:蒸發(fā)舟本身需要具備良好的熱穩(wěn)定性,以承受高溫而不發(fā)生變形或熔化。
7. **氣氛控制**:蒸發(fā)實驗通常在真空或特定氣氛中進行,以避免反應(yīng)雜質(zhì)的影響,確保顆粒的質(zhì)量。
這些特點使得蒸發(fā)舟在真空蒸發(fā)和其他沉積技術(shù)中得到了廣泛應(yīng)用。

束源爐(或稱束流反應(yīng)堆)是一種利用粒子束產(chǎn)生高能粒子的設(shè)備,主要用于研究和應(yīng)用于核物理、材料科學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。其主要功能包括:
1. **粒子加速**:束源爐能夠加速粒子到高能狀態(tài),為后續(xù)的實驗提供足夠的能量。
2. **粒子束應(yīng)用**:通過產(chǎn)生高能粒子束,束源爐可以用于材料的改性、診斷以及產(chǎn)生放射性同位素。
3. **核反應(yīng)研究**:支持核物理研究,例如基本粒子的相互作用、核結(jié)構(gòu)和反應(yīng)機制等。
4. **醫(yī)學(xué)應(yīng)用**:在放射和核醫(yī)學(xué)中用于產(chǎn)生適用于的放射性同位素。
5. **探測**:用于開發(fā)和測試探測器及相關(guān)技術(shù)。
總結(jié)來說,束源爐是在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中重要的工具,具有多種功能。

桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、光學(xué)、電子工程以及其他領(lǐng)域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過熱蒸發(fā)的方法,將材料加熱到其蒸發(fā)點,使其以蒸氣形式噴發(fā)并在基材表面凝結(jié)形成薄膜。
2. **膜厚控制**:設(shè)備通常配備有膜厚監(jiān)測系統(tǒng)(如晶體振蕩器),可實時監(jiān)測沉積膜的厚度,確保膜厚達(dá)到預(yù)期要求。
3. **材料選擇**:可以使用多種材料進行沉積,如金屬、氧化物、氮化物等,適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。
4. **真空環(huán)境**:設(shè)備在高真空環(huán)境中操作,以減少氣體分子對沉積薄膜的干擾,提高膜的質(zhì)量。
5. **基材加熱**:某些設(shè)備可以加熱基材,提高材料的附著力和薄膜的均勻性,改善薄膜質(zhì)量。
6. **多層沉積**:能夠進行多層膜的沉積,適用于需要不同功能層疊加的應(yīng)用。
7. **閥門控制和氣體引入**:可以控制沉積環(huán)境中的氣體成分,以便進行特定的化學(xué)反應(yīng)或改善膜的性能。
8. **用戶界面**:一般配備有友好的用戶界面,方便操作人員設(shè)置參數(shù)、監(jiān)控過程和記錄數(shù)據(jù)。
這種設(shè)備通常適合實驗室研究和小規(guī)模生產(chǎn),因其體積小、操作簡單而受到廣泛歡迎。
蒸發(fā)舟(或稱蒸發(fā)皿)是一種用于化學(xué)實驗和工業(yè)生產(chǎn)中的器具,主要用于蒸發(fā)溶劑和濃縮溶液。蒸發(fā)舟蒸發(fā)顆粒適用范圍一般包括:
1. **化學(xué)實驗**:用于蒸發(fā)液體,濃縮溶液,分離化學(xué)物質(zhì)。
2. **生物實驗**:在生物樣品處理中,常用于蒸發(fā)或濃縮生物樣品中的溶劑。
3. **制藥工業(yè)**:用于制備藥物濃縮液,去除溶劑,生產(chǎn)藥品原料。
4. **食品工業(yè)**:在濃縮果汁、調(diào)味品等生產(chǎn)中使用。
5. **材料科學(xué)**:用于涂層材料的制備,以及材料的合成過程。
6. **環(huán)境監(jiān)測**:在水質(zhì)分析中,用于濃縮水樣中的污染物。
7. **納米材料制備**:在納米顆粒的制備過程中,常用于蒸發(fā)溶液形成固態(tài)顆粒。
在不同的應(yīng)用中,根據(jù)具體需要選用合適材質(zhì)和規(guī)格的蒸發(fā)舟,以確保實驗的準(zhǔn)確性和安全性。
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