真空腔室Ф246×260mm,304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
分子泵國(guó)產(chǎn)FF-63/80分子泵
前級(jí)泵機(jī)械泵
真空規(guī)全量程真空規(guī)
蒸發(fā)源電阻蒸發(fā)源(兼容金屬與有機(jī)蒸發(fā))3組,可切換使用
蒸發(fā)電源2000W直流蒸發(fā)電源1臺(tái),供3組蒸發(fā)源切換使用
控制系統(tǒng)PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套
冷水機(jī)LX-300
膜厚儀FTM-107A單探頭
前級(jí)閥GDC-25b電磁擋板閥1套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺(tái)可拆卸式60×60mm,具備水冷、旋轉(zhuǎn)功能
真空管路波紋管、真空管道等1套
設(shè)備機(jī)架機(jī)電一體化
預(yù)留接口CF35一個(gè)
輔件備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
束源爐是一種利用束流技術(shù)進(jìn)行核聚變反應(yīng)的實(shí)驗(yàn)性裝置。這種爐的設(shè)計(jì)通常側(cè)重于使用高能粒子束(如質(zhì)子束或離子束)來加熱和壓縮燃料,以達(dá)成核聚變所需的條件。束源爐的研究相較于傳統(tǒng)的核聚變方式(如托卡馬克和激光聚變)具有一些特的優(yōu)勢(shì)和挑戰(zhàn)。
束源爐的主要優(yōu)點(diǎn)包括:
1. **靈活性**:束流技術(shù)可以調(diào)節(jié)粒子的能量和密度,從而對(duì)反應(yīng)條件進(jìn)行控制。
2. **物理機(jī)制**:通過高能束流的聚焦,可以在較小的體積內(nèi)實(shí)現(xiàn)高溫高壓,有助于激發(fā)聚變反應(yīng)。
3. **小型化**:與大型的托卡馬克設(shè)備相比,束源爐有可能實(shí)現(xiàn)更小型化的設(shè)計(jì)。
然而,束源爐也面臨一些挑戰(zhàn),如對(duì)材料的極端要求、粒子束的聚焦與穩(wěn)定控制等。盡管如此,束源爐作為核聚變研究中的一種*技術(shù),持續(xù)吸引著科學(xué)家的關(guān)注和研究。
電阻蒸鍍機(jī)是一種廣泛應(yīng)用于薄膜沉積技術(shù)的設(shè)備,主要用于在基材表面沉積金屬或其他材料。其主要特點(diǎn)包括:
1. **能**:電阻蒸鍍機(jī)能夠快速有效地將材料蒸發(fā)并沉積到基材上,適合大規(guī)模生產(chǎn)和連續(xù)作業(yè)。
2. **控制精度高**:該設(shè)備通常配備精密的電流和溫度控制系統(tǒng),可以準(zhǔn)確調(diào)節(jié)蒸發(fā)過程中材料的蒸發(fā)速率,從而實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜厚度。
3. **材料適應(yīng)性強(qiáng)**:電阻蒸鍍機(jī)可以使用多種金屬和合金材料,包括鋁、銅、銀、金等。
4. **真空環(huán)境**:為了提高沉積質(zhì)量,電阻蒸鍍過程通常在真空環(huán)境下進(jìn)行,減少了氧化和污染的風(fēng)險(xiǎn)。
5. **簡(jiǎn)便的操作**:相較于其他蒸鍍技術(shù),電阻蒸鍍機(jī)的操作相對(duì)簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
6. **可實(shí)現(xiàn)多層沉積**:通過控制同時(shí)蒸發(fā)不同材料,電阻蒸鍍機(jī)可以實(shí)現(xiàn)多層膜的沉積,適用于復(fù)雜的光電器件和微電子器件的制造。
7. ****:相較于其他一些物相沉積技術(shù),電阻蒸鍍機(jī)的設(shè)備和運(yùn)行成本較低。
8. **環(huán)保性**:電阻蒸鍍過程中產(chǎn)生的廢物較少,對(duì)環(huán)境的影響相對(duì)較小。
這些特點(diǎn)使電阻蒸鍍機(jī)在半導(dǎo)體、光電材料、光學(xué)涂層等領(lǐng)域獲得了廣泛應(yīng)用。

小型熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、材料科學(xué)等領(lǐng)域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:能夠在基材表面沉積金屬、氧化物、氮化物等材料,以形成薄膜。
2. **控制膜厚**:通過調(diào)節(jié)蒸發(fā)時(shí)間和速率,可以控制薄膜的厚度,滿足不同應(yīng)用的需要。
3. **高真空環(huán)境**:通常配備真空系統(tǒng),能夠在高真空條件下進(jìn)行蒸發(fā),有效減少氣體分子對(duì)薄膜的影響,提高膜層質(zhì)量。
4. **多種材料兼容**:支持多種蒸發(fā)材料的使用,包括鋁、銀、金、硅等,適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。
5. **均勻沉積**:通過合理設(shè)計(jì)蒸發(fā)源的布局,實(shí)現(xiàn)薄膜在基材上的均勻沉積。
6. **小型化設(shè)計(jì)**:體積小、重量輕,適合實(shí)驗(yàn)室、小規(guī)模生產(chǎn)等場(chǎng)合,便于搬運(yùn)和操作。
7. **自動(dòng)化控制**:一些設(shè)備配備了計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作,提率和重復(fù)性。
8. **多種基材兼容**:能夠處理不同材料和形狀的基材,如玻璃、塑料、陶瓷等。
總之,小型熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是一種 versatile 的設(shè)備,適用于科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中的薄膜制備。

電阻蒸鍍機(jī)是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:電阻蒸鍍機(jī)能夠?qū)⒉牧希ㄈ缃饘?、合金、氧化物等)以蒸發(fā)形式沉積在基材表面,形成均勻的薄膜。
2. **高精度控制**:設(shè)備通常配備的溫度控制和蒸發(fā)速率監(jiān)測(cè)系統(tǒng),可以控制薄膜的厚度和均勻性。
3. **多種材料兼容**:電阻蒸鍍機(jī)可以用于多種類型的材料沉積,包括金屬(如鋁、金、銀)、合金以及一些特定的化合物。
4. **真空環(huán)境**:通過在真空環(huán)境中進(jìn)行沉積,可以減少氣體分子對(duì)薄膜沉積的影響,從而提高薄膜的品質(zhì)和性能。
5. **可調(diào)參數(shù)**:用戶可以根據(jù)實(shí)際需求調(diào)整沉積溫度、速率、時(shí)間等參數(shù),以實(shí)現(xiàn)不同的應(yīng)用效果。
6. **應(yīng)用廣泛**:電阻蒸鍍機(jī)常用于制造光學(xué)元件、半導(dǎo)體器件、傳感器、太陽能電池等多種產(chǎn)品。
7. **自動(dòng)化程度高**:現(xiàn)代電阻蒸鍍機(jī)通常具備計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作,提高生產(chǎn)效率。
總之,電阻蒸鍍機(jī)是一種重要的薄膜制備工具,其優(yōu)越的性能使其在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中都得到了廣泛應(yīng)用。

桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀是一種常用的薄膜沉積設(shè)備,具有以下幾個(gè)顯著特點(diǎn):
1. **緊湊設(shè)計(jì)**:桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀通常體積較小,適合在實(shí)驗(yàn)室或小型生產(chǎn)環(huán)境中使用,便于放置和操作。
2. **蒸發(fā)**:利用熱源加熱蒸發(fā)材料,使其蒸發(fā)并沉積在基底上,能夠?qū)崿F(xiàn)的薄膜沉積。
3. **材料多樣性**:可以使用多種類型的蒸發(fā)材料,如金屬、氧化物等,適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。
4. **真空系統(tǒng)**:一般配備有真空泵,能夠在相對(duì)較低的壓力下工作,提高膜層的純度和均勻性。
5. **易于控制**:搭載有控制系統(tǒng),能調(diào)節(jié)蒸發(fā)速率和沉積厚度,方便用戶根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求進(jìn)行參數(shù)設(shè)置。
6. **適應(yīng)性強(qiáng)**:可用于不同尺寸和形狀的基底,如平片、膠卷等,滿足不同實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)需求。
7. **品質(zhì)監(jiān)測(cè)**:一些型號(hào)可能配備有膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)控沉積過程,確保膜厚的一致性。
8. **維護(hù)簡(jiǎn)單**:相對(duì)而言,桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀的維護(hù)和操作相對(duì)簡(jiǎn)單,適合研究人員和技術(shù)人員使用。
總之,桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀以其靈活性、便捷性和性,在材料科學(xué)、光電器件制造及其他相關(guān)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
小型熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,主要適用范圍包括:
1. **光學(xué)元件**:用于制作光學(xué)薄膜,如反射鏡、抗反射膜、分光膜等,廣泛應(yīng)用于鏡頭、光學(xué)儀器等。
2. **電子器件**:在半導(dǎo)體器件、電路板等制造中,鍍膜可以用于形成導(dǎo)電層、絕緣層及其他功能性薄膜。
3. **太陽能電池**:用于太陽能電池的鍍膜,提高光電轉(zhuǎn)換效率。
4. **顯示器件**:應(yīng)用于LCD、OLED等顯示屏的薄膜制作,提高顯示效果和耐用性。
5. **裝飾性涂層**:用于制造裝飾性涂層,如金屬鍍層、彩色薄膜等,增強(qiáng)產(chǎn)品的美觀性。
6. **傳感器**:用于傳感器表面的功能性涂層,提高靈敏度和選擇性。
7. **研究和實(shí)驗(yàn)室**:在材料科學(xué)和物理等研究中,用于制備薄膜材料,探索其性質(zhì)和應(yīng)用。
由于小型熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、靈活性高等優(yōu)點(diǎn),適合于小批量生產(chǎn)和科研試驗(yàn),因此在以上領(lǐng)域得到了廣泛使用。
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