真空腔室Ф246×228mm,304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
分子泵進(jìn)口Pfeiffer分子泵
前級(jí)泵機(jī)械泵,北儀優(yōu)成
真空規(guī)全量程真空規(guī),上海玉川
濺射靶Ф2英寸永磁靶2支(含靶擋板)
濺射電源500W直流電源1臺(tái),300W射頻電源1臺(tái)
流量計(jì)20sccm/50sccm進(jìn)口WARWICK
控制系統(tǒng)PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套
冷水機(jī)LX-300
前級(jí)閥GDC-25b電磁擋板閥1套
旁路閥GDC-25b電磁擋板閥1套
限流閥DN63mm一套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
放氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺(tái)Ф100mm,高度:60~120mm可調(diào),旋轉(zhuǎn):0-20r/min可調(diào),可加熱至300℃
膜厚監(jiān)控儀進(jìn)口Inficon SQM-160單水冷探頭,精度0.1?(選配)
真空管路波紋管、真空管道等1套
設(shè)備機(jī)架機(jī)電一體化
預(yù)留接口CF35法蘭一個(gè)
備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
小型磁控濺射鍍膜機(jī)是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于光電、電子、材料科學(xué)等領(lǐng)域。該設(shè)備主要通過(guò)磁控濺射技術(shù),將靶材的原子或分子打入氣相環(huán)境中,從而在基材表面形成薄膜。
### 主要特點(diǎn):
1. **緊湊型設(shè)計(jì)**:適合實(shí)驗(yàn)室和小規(guī)模生產(chǎn)使用,節(jié)省空間。
2. **高沉積速率**:能夠快速形成薄膜,提高生產(chǎn)效率。
3. **均勻性好**:提供均勻的薄膜質(zhì)量,適合高精度要求的應(yīng)用。
4. **可調(diào)參數(shù)**:可以調(diào)節(jié)氣體流量、功率、沉積時(shí)間等參數(shù),以滿足不同材料和薄膜厚度的需求。
5. **多種靶材支持**:可兼容多種靶材,如金屬、合金、氧化物等,應(yīng)用范圍廣泛。
### 應(yīng)用領(lǐng)域:
- **電子元件**:用于制作電路板、傳感器等。
- **光學(xué)涂層**:用于鏡頭、顯示器等光學(xué)產(chǎn)品的防反射或增強(qiáng)膜。
- **裝飾性薄膜**:用于產(chǎn)品的外觀提升。
### 操作注意事項(xiàng):
- 確保室內(nèi)通風(fēng)良好,避免氣體泄漏。
- 操作人員需佩戴相關(guān)防護(hù)裝備。
- 定期檢查設(shè)備狀態(tài),保持良好的工作環(huán)境。
如果您有更具體的問(wèn)題或需求,可以提供更多信息,我會(huì)盡力幫助您。
樣品臺(tái),通常用于實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)生產(chǎn)和研究等領(lǐng)域,具有以下幾個(gè)特點(diǎn):
1. **穩(wěn)定性**:樣品臺(tái)通常設(shè)計(jì)得穩(wěn)定,以確保在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)或觀察時(shí),樣品受到外部震動(dòng)或干擾的影響。
2. **調(diào)整功能**:許多樣品臺(tái)具有高度可調(diào)節(jié)性,允許用戶根據(jù)需要調(diào)整樣品的位置和角度,以便于觀察和測(cè)量。
3. **易清潔性**:樣品臺(tái)通常采用易于清洗的材料,能夠防止樣品的污染,同時(shí)在使用過(guò)程中保持衛(wèi)生。
4. **多功能性**:某些樣品臺(tái)配備了不同的附件和配件,支持實(shí)驗(yàn)需求,例如光學(xué)顯微鏡、測(cè)量?jī)x器等。
5. **適應(yīng)性強(qiáng)**:樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)往往可以根據(jù)不同類型的樣品(如液體、固體、粉末等)進(jìn)行調(diào)整,以適應(yīng)不同的實(shí)驗(yàn)需求。
6. **材料選用**:樣品臺(tái)通常采用耐腐蝕、耐高溫或其他特殊材料,以適應(yīng)不同實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
7. **標(biāo)記系統(tǒng)**:許多樣品臺(tái)上會(huì)有標(biāo)記或者刻度,使用戶能夠定位樣品位置。
8. **光學(xué)性能**:在光學(xué)實(shí)驗(yàn)中,樣品臺(tái)可能會(huì)考慮透光性和反射性,以確保觀測(cè)效果的清晰度。
這些特點(diǎn)使得樣品臺(tái)在不同領(lǐng)域的應(yīng)用中顯得尤為重要,能夠提高實(shí)驗(yàn)的性和效率。

桌面型磁控濺射鍍膜儀是一種廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、電子學(xué)、光學(xué)等領(lǐng)域的設(shè)備,其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:可在基材上沉積薄膜,形成不同厚度和成分的薄膜材料。
2. **材料多樣性**:支持多種靶材(如金屬、合金、氧化物等),能夠制作出不同種類的薄膜。
3. **優(yōu)良的膜質(zhì)量**:采用磁控濺射技術(shù),可以有效提高薄膜的均勻性和致密性,提高膜的性能。
4. **可調(diào)節(jié)參數(shù)**:可以調(diào)節(jié)濺射功率、氣體流量、基片溫度等參數(shù),以滿足不同工藝要求。
5. **大面積鍍膜**:由于其設(shè)計(jì),可以適用于大面積基片的鍍膜需求,在科研和工業(yè)生產(chǎn)中具有較高的應(yīng)用價(jià)值。
6. **過(guò)程控制**:配備監(jiān)測(cè)系統(tǒng),可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚度、氣氛等,有助于控制沉積過(guò)程。
7. **易于操作**:桌面型的設(shè)計(jì)使得設(shè)備更加緊湊,操作相對(duì)簡(jiǎn)單,適合實(shí)驗(yàn)室環(huán)境使用。
8. **真空技術(shù)**:工作過(guò)程中保持真空環(huán)境,減少污染,提高沉積質(zhì)量。
這種設(shè)備在半導(dǎo)體器件制造、光學(xué)涂層、傳感器、太陽(yáng)能電池等多個(gè)領(lǐng)域具有重要應(yīng)用價(jià)值。

磁控濺射鍍膜機(jī)是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、太陽(yáng)能、LED等領(lǐng)域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過(guò)濺射技術(shù),將靶材表面的原子或分子激發(fā)并沉積在基材表面,從而形成薄膜。可以沉積金屬、絕緣體和半導(dǎo)體等多種材料。
2. **膜層均勻性調(diào)控**:通過(guò)調(diào)整濺射參數(shù)(如氣體流量、功率、沉積時(shí)間等),可以控制薄膜的厚度和均勻性,滿足不同應(yīng)用的要求。
3. **材料性質(zhì)優(yōu)化**:可以通過(guò)改變靶材的種類、沉積環(huán)境等方式,調(diào)節(jié)薄膜的物理和化學(xué)性質(zhì),如電導(dǎo)率、光學(xué)透過(guò)率等。
4. **多層膜沉積**:可以實(shí)現(xiàn)多層膜的交替沉積,滿足復(fù)雜器件的需求,比如光學(xué)濾光片、傳感器等。
5. **真空環(huán)境**:在真空條件下進(jìn)行沉積,可以減少膜層缺陷,提高膜層的質(zhì)量及其性能。
6. **可控厚度及成分**:通過(guò)控制濺射時(shí)間和功率,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)膜層厚度及化學(xué)成分的準(zhǔn)確調(diào)控,適用于應(yīng)用需求。
7. **適應(yīng)性強(qiáng)**:可以使用多種靶材和基材,廣泛應(yīng)用于不同領(lǐng)域,包括電子器件、光電材料、裝飾性涂層等。
磁控濺射鍍膜機(jī)因其優(yōu)越的沉積過(guò)程和膜層質(zhì)量,在現(xiàn)代材料科學(xué)和工程中占有重要地位。

離子濺射儀是一種用于材料表面分析和處理的設(shè)備,主要功能包括:
1. **材料沉積**:可以用于在基材表面上沉積薄膜,常見(jiàn)于半導(dǎo)體、光電子器件和表面涂層的制造。
2. **表面分析**:通過(guò)濺射過(guò)程,可以分析材料的成分和結(jié)構(gòu),常用于質(zhì)譜分析和表面分析技術(shù),如時(shí)間飛行質(zhì)譜(TOF-MS)。
3. **清潔和去除涂層**:可以去除材料表面的污染物或舊涂層,為后續(xù)處理做好準(zhǔn)備。
4. **再結(jié)晶和表面改性**:可以通過(guò)離子轟擊改變材料的表面狀態(tài),如增加薄膜的粘附力、改善光學(xué)性能等。
5. **刻蝕**:在微電子工藝中,用于刻蝕特定區(qū)域,形成所需的圖案和結(jié)構(gòu)。
6. **離子 implantation**:將離子注入材料中,以改變其電學(xué)、光學(xué)或機(jī)械性質(zhì)。
離子濺射儀在材料科學(xué)、微電子、納米技術(shù)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
磁控濺射鍍膜機(jī)是一種常見(jiàn)的薄膜沉積設(shè)備,廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。其適用范圍主要包括:
1. **光電器件**:用于制造太陽(yáng)能電池、OLED顯示屏、LED等光電元件的導(dǎo)電膜和熒光膜。
2. **半導(dǎo)體器件**:在集成電路生產(chǎn)中,磁控濺射可以用于沉積金屬、氧化物和氮化物薄膜,這些薄膜用于互連、絕緣和摻雜等功能。
3. **光學(xué)涂層**:生產(chǎn)抗反射 coating、反射鏡涂層和其他光學(xué)薄膜,廣泛應(yīng)用于鏡頭、光學(xué)儀器和顯示器上。
4. **硬涂層**:用于制造硬度高、耐磨損的薄膜,在工具、模具等表面進(jìn)行保護(hù)。
5. **磁性材料**:在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和磁性傳感器中,沉積磁性薄膜以實(shí)現(xiàn)特定的磁性能。
6. **裝飾涂層**:在家居用品、電子產(chǎn)品外殼等表面進(jìn)行裝飾性鍍膜。
7. **生物醫(yī)學(xué)**:在生物傳感器和器械表面形成或生物相容性薄膜。
由于其良好的膜質(zhì)量和均勻性,磁控濺射鍍膜機(jī)在材料科學(xué)、納米科技等研究領(lǐng)域也有廣泛應(yīng)用。
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