真空腔室Ф246×260mm,304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
分子泵國產(chǎn)FF-63/80分子泵
前級泵機械泵
真空規(guī)全量程真空規(guī)
蒸發(fā)源電阻蒸發(fā)源(兼容金屬與有機蒸發(fā))3組,可切換使用
蒸發(fā)電源2000W直流蒸發(fā)電源1臺,供3組蒸發(fā)源切換使用
控制系統(tǒng)PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套
冷水機LX-300
膜厚儀FTM-107A單探頭
前級閥GDC-25b電磁擋板閥1套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺可拆卸式60×60mm,具備水冷、旋轉(zhuǎn)功能
真空管路波紋管、真空管道等1套
設(shè)備機架機電一體化
預(yù)留接口CF35一個
輔件備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
熱蒸發(fā)鍍膜機是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、材料科學(xué)等領(lǐng)域。其基本原理是通過加熱材料,使其蒸發(fā)成氣態(tài),然后在基底表面凝結(jié)形成薄膜。熱蒸發(fā)鍍膜機通常由以下幾個主要部分組成:
1. **真空腔體**:提供低壓環(huán)境,以減少氣體分子對蒸發(fā)材料和沉積薄膜的干擾。
2. **加熱源**:通常使用電阻加熱絲或電子束加熱來加熱蒸發(fā)材料,達到其蒸發(fā)溫度。
3. **蒸發(fā)源**:放置待蒸發(fā)材料的容器,可以是鑄坯、靶材等。
4. **基底夾持系統(tǒng)**:用于固定和加熱待涂覆的基底,一般位于蒸發(fā)源的上方。
5. **監(jiān)控系統(tǒng)**:用于監(jiān)測沉積速度和膜厚,常用的技術(shù)有石英晶體振蕩器或光學(xué)膜厚測量。
6. **冷卻系統(tǒng)**:在一些情況下,可能需要冷卻基底以改善膜的品質(zhì)。
熱蒸發(fā)鍍膜機的優(yōu)點包括沉積速度快、膜層均勻、膜的純度高等,但也有局限性,如膜的附著力和應(yīng)力問題。
在選購和使用熱蒸發(fā)鍍膜機時,需要根據(jù)具體的應(yīng)用需求,例如膜材料、沉積速率、膜厚度及基底材料等制定相應(yīng)的方案。
小型熱蒸發(fā)鍍膜機是一種常見的實驗室設(shè)備,主要用于材料表面的薄膜沉積,其特點包括:
1. **小巧便攜**:設(shè)計緊湊,適合實驗室、研究機構(gòu)及小規(guī)模生產(chǎn)等場所使用,便于搬運和安裝。
2. **操作簡便**:通常配備直觀的操作界面和控制系統(tǒng),便于用戶操作和調(diào)節(jié)參數(shù)。
3. **蒸發(fā)效率高**:利用熱蒸發(fā)原理,能夠在較短時間內(nèi)實現(xiàn)率的鍍膜過程。
4. **適用材料廣泛**:可以用于多種金屬及某些非金屬材料的蒸發(fā)鍍膜,適應(yīng)性強。
5. **膜層質(zhì)量好**:能夠沉積出均勻、致密的薄膜,滿足高要求的光學(xué)、電氣性能。
6. **真空環(huán)境**:配置高真空系統(tǒng),可以有效防止污染,提高膜層純度。
7. **溫度控制**:具備的溫度控制功能,能夠調(diào)節(jié)蒸發(fā)源的溫度,以優(yōu)化膜層性能。
8. **成本相對較低**:相比于大型鍍膜設(shè)備,投資成本較低,適合預(yù)算有限的單位。
9. **多樣化的附加功能**:部分設(shè)備還可以選配如厚度監(jiān)測、靶材更換等功能,以提高應(yīng)用的靈活性。
10. **節(jié)能環(huán)保**:現(xiàn)代設(shè)備在設(shè)計上往往考慮能耗,運行過程中的能量利用效率較高。
這些特點使得小型熱蒸發(fā)鍍膜機在科學(xué)研究、新材料開發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中擁有廣泛的應(yīng)用前景。

束源爐是一種特殊類型的核反應(yīng)堆,主要用于研究和醫(yī)學(xué)應(yīng)用。它的特點包括:
1. **中子源**:束源爐能夠產(chǎn)生大量的中子,這些中子可用于材料研究、核檢測、醫(yī)學(xué)成像及等領(lǐng)域。
2. **小型化**:與傳統(tǒng)的核反應(yīng)堆相比,束源爐通常較小,設(shè)計上更為緊湊,適合于實驗室或等場所。
3. **低功率運行**:束源爐的運行功率相對較低,一般在幾千瓦到幾兆瓦之間,適合用于中子輻照實驗。
4. **安全性**:由于功率較低,束源爐的設(shè)計通常具有更高的安全性,反應(yīng)堆的重要系統(tǒng)和結(jié)構(gòu)更易于控制。
5. **多用途**:除了用于基礎(chǔ)科學(xué)研究外,束源爐還可用于材料分析、核醫(yī)學(xué)以及教育等多個領(lǐng)域,顯示出其多功能性。
6. **易于安裝與維護**:束源爐一般設(shè)計得更加便捷,方便安裝和日常維護。
7. **放射性廢物處理**:由于其低功率的特性,所產(chǎn)生的放射性廢物相對較少,處理相對簡單。
這些特點使得束源爐在研究和應(yīng)用中發(fā)揮了重要的作用。

電阻蒸鍍機是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:電阻蒸鍍機能夠?qū)⒉牧希ㄈ缃饘?、合金、氧化物等)以蒸發(fā)形式沉積在基材表面,形成均勻的薄膜。
2. **高精度控制**:設(shè)備通常配備的溫度控制和蒸發(fā)速率監(jiān)測系統(tǒng),可以控制薄膜的厚度和均勻性。
3. **多種材料兼容**:電阻蒸鍍機可以用于多種類型的材料沉積,包括金屬(如鋁、金、銀)、合金以及一些特定的化合物。
4. **真空環(huán)境**:通過在真空環(huán)境中進行沉積,可以減少氣體分子對薄膜沉積的影響,從而提高薄膜的品質(zhì)和性能。
5. **可調(diào)參數(shù)**:用戶可以根據(jù)實際需求調(diào)整沉積溫度、速率、時間等參數(shù),以實現(xiàn)不同的應(yīng)用效果。
6. **應(yīng)用廣泛**:電阻蒸鍍機常用于制造光學(xué)元件、半導(dǎo)體器件、傳感器、太陽能電池等多種產(chǎn)品。
7. **自動化程度高**:現(xiàn)代電阻蒸鍍機通常具備計算機控制系統(tǒng),可以實現(xiàn)自動化操作,提高生產(chǎn)效率。
總之,電阻蒸鍍機是一種重要的薄膜制備工具,其優(yōu)越的性能使其在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中都得到了廣泛應(yīng)用。

蒸發(fā)舟是一種常用于材料科學(xué)和薄膜制備的設(shè)備,特別是在物相沉積(PVD)技術(shù)中。蒸發(fā)舟的主要作用是通過加熱將固態(tài)材料轉(zhuǎn)化為氣態(tài),以實現(xiàn)薄膜的沉積。蒸發(fā)舟蒸發(fā)顆粒的特點主要包括以下幾個方面:
1. **均勻性**:蒸發(fā)過程中,顆粒的蒸發(fā)速率較為均勻,能夠在基底上形成均勻的薄膜。
2. **可控性**:通過調(diào)節(jié)加熱溫度和加熱時間,可以控制蒸發(fā)速率,從而調(diào)節(jié)薄膜的厚度和組成。
3. **材料兼容性**:蒸發(fā)舟可以用于多種不同材料的蒸發(fā),如金屬、氧化物和高分子材料等,適應(yīng)性較強。
4. **顆粒尺寸**:蒸發(fā)顆粒的尺寸通常較小,有助于加快蒸發(fā)速度,提升薄膜的沉積效率。
5. **高純度**:蒸發(fā)舟中使用的材料一般要求高純度,以確保終薄膜的性能和質(zhì)量。
6. **熱穩(wěn)定性**:蒸發(fā)舟本身需要具備良好的熱穩(wěn)定性,以承受高溫而不發(fā)生變形或熔化。
7. **氣氛控制**:蒸發(fā)實驗通常在真空或特定氣氛中進行,以避免反應(yīng)雜質(zhì)的影響,確保顆粒的質(zhì)量。
這些特點使得蒸發(fā)舟在真空蒸發(fā)和其他沉積技術(shù)中得到了廣泛應(yīng)用。
手套箱一體機(Glove Box)是一種封閉式操作設(shè)備,廣泛應(yīng)用于需要在無塵、無氧、無污染環(huán)境下進行實驗或操作的領(lǐng)域。其主要適用范圍包括:
1. **化學(xué)實驗室**:用于處理敏感化學(xué)品或危險化學(xué)品,防止氣體泄漏或與空氣中的水分和氧氣反應(yīng)。
2. **材料科學(xué)**:在合成新材料、存儲和制造高敏感性材料(如電池材料、光電材料)時使用,避免與空氣接觸。
3. **生物醫(yī)學(xué)研究**:在無菌環(huán)境下進行細胞培養(yǎng)、基因編輯等實驗,確保樣品不受外界污染。
4. **制藥工業(yè)**:用于藥物的研發(fā)與生產(chǎn)過程,確保符合嚴格的無菌和無塵要求。
5. **半導(dǎo)體行業(yè)**:在集成電路和電子元件的生產(chǎn)過程中,避免灰塵和雜質(zhì)影響產(chǎn)品質(zhì)量。
6. **核能和放射性材料研究**:用于安全處理放射性物質(zhì),防止泄漏。
7. **環(huán)境科學(xué)**:用于處理和分析污染物樣本,確保實驗條件可控。
總之,手套箱一體機適合需要高度控制環(huán)境的科研和工業(yè)應(yīng)用。
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