溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩(wěn)定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數(shù)量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數(shù)量4(可增加)
探針材質(zhì)紫銅鍍金
測試通道4
載樣臺材質(zhì)及尺寸銀質(zhì),35*35mm(以實際尺寸為準)
冷熱臺尺寸160*150*29mm(以實際尺寸為準)
實驗環(huán)境可抽真空,可充入保護氣氛(氮氣),配水冷接口
探針臺卡盤(Prober Chuck)是一種用于半導(dǎo)體測試和研究的設(shè)備,主要應(yīng)用于晶圓探針測試(wafer probing)過程中。其功能是將待測試的晶圓或芯片固定在穩(wěn)定的位置,以便進行電氣性能測試和測量。
探針臺卡盤的設(shè)計通??紤]到以下幾個方面:
1. **固定能力**:卡盤需要能夠牢固固定不同尺寸和形狀的晶圓,防止在測試過程中發(fā)生移動。
2. **熱管理**:在測試過程中,卡盤可能會發(fā)熱,因此其材料和設(shè)計需具備良好的熱導(dǎo)性,以避免影響測試結(jié)果。
3. **平面度**:確??ūP的表面平整,以便與探針對接,減少接觸不良的可能性。
4. **兼容性**:許多卡盤都是設(shè)計為與探針臺(prober)和測試設(shè)備兼容,便于集成使用。
5. **微調(diào)功能**:一些的探針臺卡盤具備微調(diào)功能,可通過機械或電動方式微調(diào)晶圓的位置,以達到的探針接觸效果。
探針臺卡盤在集成電路(IC)制造、半導(dǎo)體器件測試以及材料科學(xué)研究等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
探針臺(Probe Station)是一種用于半導(dǎo)體和微電子測試的設(shè)備,主要用于在實驗室環(huán)境中對芯片或材料進行電學(xué)性能測試。它的主要功能包括:
1. **電氣測試**:探針臺配備有探針,可以直接接觸到芯片上的電氣接點,進行電性能測試,比如電流、電壓、阻抗等。
2. **溫度控制**:許多探針臺具有溫度控制功能,可以在高溫或低溫下進行測試,以評估材料或器件在不同溫度下的特性。
3. **真空環(huán)境**:某些探針臺可以在真空環(huán)境下操作,以減少空氣對測試結(jié)果的影響,尤其是在某些敏感實驗中。
4. **圖像捕捉與分析**:探針臺通常配備有顯微鏡,可以對芯片進行觀察,幫助技術(shù)人員準確定位探針和分析測試結(jié)果。
5. **自動化測試**:一些探針臺能夠與計算機系統(tǒng)配合,實現(xiàn)自動化操作和數(shù)據(jù)采集,提高測試效率和準確性。
6. **多功能擴展**:探針臺可以與其他設(shè)備(如信號發(fā)生器、示波器等)聯(lián)動,進行更復(fù)雜的電氣測試和分析。
探針臺廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)、電子工程等領(lǐng)域,是研究和開發(fā)新型電子元件的重要工具。

微型高低溫真空探針臺是一種重要的實驗設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體物理、材料科學(xué)和納米技術(shù)等領(lǐng)域。其主要功能包括:
1. **溫度控制**:能夠在極低(如-196°C,液氮溫度)到極高(如500°C或更高)溫度范圍內(nèi)控制樣品的溫度。這對于研究材料在不同溫度下的性能和行為至關(guān)重要。
2. **真空環(huán)境**:探針臺可以在真空或低氣壓環(huán)境中工作,以減少氧化、污染和其他外部因素對實驗結(jié)果的影響。這對于敏感材料或納米結(jié)構(gòu)的測試尤為重要。
3. **電學(xué)測試**:探針臺通常配備高精度的探針,可以用于對樣品進行電性測試,如電導(dǎo)率、霍爾效應(yīng)等。這些測量可以幫助研究材料的電學(xué)特性。
4. **表面和界面分析**:可以研究薄膜、界面和材料表面的電性和熱性特性,獲取關(guān)于材料結(jié)構(gòu)和性能的重要信息。
5. **自動化和集成**:現(xiàn)代探針臺常配備有自動化系統(tǒng),可以實現(xiàn)高通量測試,提高實驗效率。此外,它們往往可以與其他表征技術(shù)(如AFM、SEM等)集成使用,以獲得更全面的材料性能分析。
6. **多功能性**:一些微型高低溫真空探針臺提供多種功能,可以進行不同類型的測量(如電學(xué)、熱學(xué)、光學(xué)等),滿足科研人員的多樣化需求。
這種設(shè)備的綜合功能使其成為微電子器件、量子材料和其它高科技領(lǐng)域?qū)嶒炑芯恐械墓ぞ摺?br/>

探針座位移平臺是一種用于精密測試和測量的設(shè)備,常用于半導(dǎo)體、光電子和精密制造等領(lǐng)域。其主要特點包括:
1. **高精度**:探針座位移平臺能夠在微米甚至納米級別進行高精度的位置控制,以確保測量的準確性。
2. **多軸運動**:許多探針座位移平臺設(shè)計為多軸系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)X、Y、Z三個維度的立移動,以適應(yīng)復(fù)雜的測量需求。
3. **穩(wěn)定性**:平臺結(jié)構(gòu)通常經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計,以提供高度的機械穩(wěn)定性,減少外部震動對測量結(jié)果的影響。
4. **自動化控制**:現(xiàn)代探針座位移平臺通常配備計算機控制系統(tǒng),支持自動化操作和數(shù)據(jù)采集,提高工作效率。
5. **兼容性強**:探針座可以與多種探針、傳感器和測量設(shè)備相結(jié)合,提供靈活的應(yīng)用方案。
6. **快速響應(yīng)**:的驅(qū)動系統(tǒng)使得平臺能夠快速響應(yīng)控制指令,實現(xiàn)快速定位和測量。
7. **易于操作**:許多平臺設(shè)有用戶友好的界面,使操作人員能夠輕松進行設(shè)置和調(diào)整。
8. **可調(diào)節(jié)性**:探針座位移平臺通常允許用戶根據(jù)特定需求來調(diào)整工作參數(shù),例如探針的接觸力、移動速度等。
這些特點使得探針座位移平臺在電子元器件測試、材料分析和微型裝配等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

同軸真空饋通件是一種用于電子設(shè)備的連接器,主要用于在真空環(huán)境中傳輸信號。其特點包括:
1. **優(yōu)良的信號傳輸性能**:同軸結(jié)構(gòu)能夠有效地減少信號的損耗和反射,保證信號的質(zhì)量。
2. **良好的屏蔽性能**:同軸設(shè)計可提供較好的電磁干擾屏蔽,防止外部干擾信號影響傳輸質(zhì)量。
3. **耐高真空特性**:專門設(shè)計用于在真空環(huán)境中工作,不易受到氣體和水分的影響,適用于真空設(shè)備,如粒子加速器和真空腔等。
4. **高功率承受能力**:能夠承受較高的功率水平,適合用于高功率射頻應(yīng)用。
5. **機械穩(wěn)定性**:結(jié)構(gòu)堅固,能夠經(jīng)受一定的機械應(yīng)力和溫度變化。
6. **便于安裝和維護**:設(shè)計通??紤]到易于安裝和維護,便于與其他設(shè)備連接。
7. **多種接口類型**:可根據(jù)需要提供不同類型的連接器接口,以適應(yīng)應(yīng)用場景。
以上這些特點使得同軸真空饋通件在通信、射頻設(shè)備及實驗物理等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。
微型高低溫真空探針臺主要用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體器件、納米技術(shù)等領(lǐng)域的研究和測試,其適用范圍包括但不限于以下幾個方面:
1. **半導(dǎo)體器件測試**:用于測量半導(dǎo)體材料和器件在高低溫環(huán)境下的電學(xué)性質(zhì)。
2. **材料分析**:能夠分析不同材料在極端溫度和真空條件下的性能變化,例如導(dǎo)電性、熱導(dǎo)性等。
3. **納米材料研究**:用于研究納米材料在不同溫度和環(huán)境下的行為,適合納米電子學(xué)研究。
4. **物理和化學(xué)實驗**:在物理和化學(xué)實驗中,對樣品進行高低溫和真空下的測試和觀察。
5. **生物材料測試**:能夠測試生物材料在極端環(huán)境下的穩(wěn)定性和性能變化。
6. **儀器研發(fā)**:在新型儀器和設(shè)備研發(fā)過程中,對材料的性能進行高低溫測試。
綜上所述,微型高低溫真空探針臺是一種多功能的實驗設(shè)備,適用于多種研究領(lǐng)域,特別是在要求控制溫度和氣氛條件的實驗中顯得尤為重要。
http://m.wenhaozhong.com