真空腔室Ф246×228mm,304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
分子泵進口Pfeiffer分子泵
前級泵機械泵,北儀優(yōu)成
真空規(guī)全量程真空規(guī),上海玉川
濺射靶Ф2英寸永磁靶2支(含靶擋板)
濺射電源500W直流電源1臺,300W射頻電源1臺
流量計20sccm/50sccm進口WARWICK
控制系統(tǒng)PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套
冷水機LX-300
前級閥GDC-25b電磁擋板閥1套
旁路閥GDC-25b電磁擋板閥1套
限流閥DN63mm一套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
放氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺Ф100mm,高度:60~120mm可調(diào),旋轉(zhuǎn):0-20r/min可調(diào),可加熱至300℃
膜厚監(jiān)控儀進口Inficon SQM-160單水冷探頭,精度0.1?(選配)
真空管路波紋管、真空管道等1套
設備機架機電一體化
預留接口CF35法蘭一個
備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
樣品臺通常指的是用于展示或測試物品的臺面,廣泛應用于實驗室、展覽、商店等場所。在實驗室中,樣品臺可以用來放置化學試劑或生物樣本,以便進行觀察和實驗。在展覽中,樣品臺用于展示產(chǎn)品,以吸引觀眾的注意。商店中的樣品臺則用于展示商品,方便顧客查看和選擇。
如果你有更具體的問題或者需要了解樣品臺的某個方面,請告訴我!
PVD(物相沉積)鍍膜機是一種用于在基材表面沉積薄膜的設備。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過物相沉積方法,PVD鍍膜機可以在基材表面沉積金屬、合金、氧化物、氮化物等薄膜材料,用于改善表面性能。
2. **表面改性**:通過鍍膜,可以提高基材的耐磨性、耐腐蝕性、抗氧化性等,延長材料的使用壽命。
3. **功能涂層**:PVD鍍膜可以賦予材料特定的功能,例如光學性能(反射、透射)、導電性能、熱導性等,適用于電子、光學等行業(yè)。
4. **裝飾效果**:在一些應用中,PVD鍍膜機可用于實現(xiàn)裝飾性涂層,提高產(chǎn)品的美觀性和附加值。
5. **薄膜**:PVD技術(shù)能夠在較低的溫度下沉積量的薄膜,適合用于一些熱敏材料的表面處理。
6. **環(huán)境友好**:相比于化學鍍膜方法,PVD過程通常不需要使用有毒化學物質(zhì),減小了對環(huán)境的影響。
7. **可控性強**:PVD鍍膜機可以控制膜厚、沉積速率等參數(shù),實現(xiàn)高重復性和一致性的薄膜性能。
總之,PVD鍍膜機在現(xiàn)代制造業(yè)中發(fā)揮著重要作用,廣泛應用于電子、光學、汽車、等多個領(lǐng)域。

磁控濺射鍍膜機是一種用于薄膜沉積的設備,廣泛應用于電子、光學、太陽能、LED等領(lǐng)域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過濺射技術(shù),將靶材表面的原子或分子激發(fā)并沉積在基材表面,從而形成薄膜??梢猿练e金屬、絕緣體和半導體等多種材料。
2. **膜層均勻性調(diào)控**:通過調(diào)整濺射參數(shù)(如氣體流量、功率、沉積時間等),可以控制薄膜的厚度和均勻性,滿足不同應用的要求。
3. **材料性質(zhì)優(yōu)化**:可以通過改變靶材的種類、沉積環(huán)境等方式,調(diào)節(jié)薄膜的物理和化學性質(zhì),如電導率、光學透過率等。
4. **多層膜沉積**:可以實現(xiàn)多層膜的交替沉積,滿足復雜器件的需求,比如光學濾光片、傳感器等。
5. **真空環(huán)境**:在真空條件下進行沉積,可以減少膜層缺陷,提高膜層的質(zhì)量及其性能。
6. **可控厚度及成分**:通過控制濺射時間和功率,可以實現(xiàn)對膜層厚度及化學成分的準確調(diào)控,適用于應用需求。
7. **適應性強**:可以使用多種靶材和基材,廣泛應用于不同領(lǐng)域,包括電子器件、光電材料、裝飾性涂層等。
磁控濺射鍍膜機因其優(yōu)越的沉積過程和膜層質(zhì)量,在現(xiàn)代材料科學和工程中占有重要地位。

小型磁控濺射鍍膜機是一種常用于材料表面處理的設備,它的主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:能夠在基材表面沉積金屬、絕緣體或半導體薄膜,廣泛應用于電子、光學和材料科學等領(lǐng)域。
2. **均勻性**:通過磁控濺射技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)良好的膜厚均勻性和致密性,有助于提高薄膜性能。
3. **可調(diào)性**:用戶可以根據(jù)不同的需求調(diào)整沉積參數(shù),如功率、氣壓和氣體成分,以獲得的沉積效果。
4. **多種材料選擇**:支持多種靶材的使用,能夠沉積不同材料的薄膜,如鋁、銅、氮化硅等。
5. **快速成膜**:小型磁控濺射鍍膜機相對快速,適合小批量實驗或研發(fā)。
6. **低溫沉積**:允許在較低溫度下進行沉積,有助于減少基材的熱負荷,適合對熱敏感材料的處理。
7. **簡單操作**:由于其結(jié)構(gòu)緊湊且操作相對簡單,適合實驗室和小規(guī)模生產(chǎn)使用。
這些功能使得小型磁控濺射鍍膜機在科研、工業(yè)和教學等多個領(lǐng)域中得到廣泛應用。

離子濺射儀是一種廣泛應用于材料科學、半導體制造和表面分析等領(lǐng)域的設備,其主要特點包括:
1. **高精度**:離子濺射儀能夠在原子或分子層級上進行物質(zhì)的去除和沉積,具有的控制精度,適用于微米和納米級別的加工。
2. **多功能性**:該儀器可用于薄膜的沉積、表面清洗、材料分析等多種用途,適應性強。
3. **層次控制**:可以實現(xiàn)對材料沉積厚度的控制,可以逐層沉積不同材料,適合制備多層膜結(jié)構(gòu)。
4. **較強的適應性**:離子源與靶材的組合可以根據(jù)需要進行調(diào)整,使得該儀器可以處理多種不同類型的材料。
5. **真空環(huán)境**:離子濺射在真空環(huán)境中進行,有助于減少氣體分子對沉積過程的干擾,提高沉積質(zhì)量。
6. **可調(diào)節(jié)能量**:離子源可以調(diào)節(jié)離子的能量,從而控制濺射過程中的粒子能量,有利于改善沉積膜的性質(zhì)。
7. **低溫沉積**:相較于傳統(tǒng)的熱沉積方法,離子濺射在較低溫度下即可進行,能夠減少熱敏感材料的損傷。
8. **表面改性**:通過選擇合適的離子種類和能量,可以對材料表面進行改性,如提高表面硬度或改變表面化學性質(zhì)。
總的來說,離子濺射儀因其高精度、多功能和良好的適應性,在現(xiàn)代材料科學和工程中發(fā)揮著重要作用。
離子濺射儀是一種廣泛應用于材料科學和表面分析的儀器,其適用范圍主要包括以下幾個方面:
1. **薄膜制備**:用于沉積金屬、氧化物及其他材料的薄膜,廣泛應用于電子器件、光電材料等領(lǐng)域。
2. **表面分析**:能夠分析材料表面的元素組成和化學狀態(tài),適用于材料科學、物理、化學等研究領(lǐng)域。
3. **樣品清洗**:可以去除樣品表面的污染物和氧化層,提高后續(xù)分析的準確性。
4. **材料特性研究**:通過改變離子能量和濺射深度,研究材料的結(jié)構(gòu)、成分及性質(zhì)。
5. **半導體工業(yè)**:在半導體制造過程中,離子濺射用于清洗、蝕刻等步驟,確保良好的表面狀態(tài)。
6. **光學領(lǐng)域**:在光學器件的制備中,離子濺射用于涂覆光學薄膜,以滿足特定的光學性能。
7. **生物材料**:在生物材料的研究中,離子濺射可以用于表面改性,以改善生物相容性和性能。
總之,離子濺射儀是一種多功能的設備,適用于研究與工業(yè)應用中。
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