溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩(wěn)定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數(shù)量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數(shù)量4(可增加)
探針材質(zhì)紫銅鍍金
測(cè)試通道4
載樣臺(tái)材質(zhì)及尺寸銀質(zhì),35*35mm(以實(shí)際尺寸為準(zhǔn))
冷熱臺(tái)尺寸160*150*29mm(以實(shí)際尺寸為準(zhǔn))
實(shí)驗(yàn)環(huán)境可抽真空,可充入保護(hù)氣氛(氮?dú)猓?,配水冷接?/span>
微型高低溫真空探針臺(tái)是一種用于材料研究和半導(dǎo)體器件測(cè)試的精密設(shè)備。它能夠在真空環(huán)境中提供高溫和低溫的測(cè)試條件,使研究人員能夠評(píng)估材料和器件在不同溫度下的性能。
主要特點(diǎn)包括:
1. **溫度范圍廣**:能夠?qū)崿F(xiàn)從低于室溫到高溫的調(diào)節(jié),通??梢栽?196°C到500°C的范圍內(nèi)工作。
2. **真空環(huán)境**:通過真空腔體,實(shí)現(xiàn)高真空條件,有助于消除氧化和污染,對(duì)材料性能影響的研究重要。
3. **高精度探針**:配備高精度的探針系統(tǒng),用于電學(xué)測(cè)量、材料表征等。
4. **微型設(shè)計(jì)**:相較于傳統(tǒng)探針臺(tái),微型設(shè)計(jì)使得設(shè)備體積更小,更便于實(shí)驗(yàn)室使用和搬運(yùn)。
5. **多功能性**:可以配合多種測(cè)試設(shè)備使用,如示波器、頻譜分析儀等,適應(yīng)不同的實(shí)驗(yàn)需求。
微型高低溫真空探針臺(tái)在材料科學(xué)、納米技術(shù)、電子學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用,是研究新材料和器件性能的重要工具。
微型高低溫真空探針臺(tái)是一種重要的實(shí)驗(yàn)設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體物理、材料科學(xué)和納米技術(shù)等領(lǐng)域。其主要功能包括:
1. **溫度控制**:能夠在極低(如-196°C,液氮溫度)到極高(如500°C或更高)溫度范圍內(nèi)控制樣品的溫度。這對(duì)于研究材料在不同溫度下的性能和行為至關(guān)重要。
2. **真空環(huán)境**:探針臺(tái)可以在真空或低氣壓環(huán)境中工作,以減少氧化、污染和其他外部因素對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的影響。這對(duì)于敏感材料或納米結(jié)構(gòu)的測(cè)試尤為重要。
3. **電學(xué)測(cè)試**:探針臺(tái)通常配備高精度的探針,可以用于對(duì)樣品進(jìn)行電性測(cè)試,如電導(dǎo)率、霍爾效應(yīng)等。這些測(cè)量可以幫助研究材料的電學(xué)特性。
4. **表面和界面分析**:可以研究薄膜、界面和材料表面的電性和熱性特性,獲取關(guān)于材料結(jié)構(gòu)和性能的重要信息。
5. **自動(dòng)化和集成**:現(xiàn)代探針臺(tái)常配備有自動(dòng)化系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高通量測(cè)試,提高實(shí)驗(yàn)效率。此外,它們往往可以與其他表征技術(shù)(如AFM、SEM等)集成使用,以獲得更全面的材料性能分析。
6. **多功能性**:一些微型高低溫真空探針臺(tái)提供多種功能,可以進(jìn)行不同類型的測(cè)量(如電學(xué)、熱學(xué)、光學(xué)等),滿足科研人員的多樣化需求。
這種設(shè)備的綜合功能使其成為微電子器件、量子材料和其它高科技領(lǐng)域?qū)嶒?yàn)研究中的工具。

探針臺(tái)(Probe Station)是一種用于半導(dǎo)體和微電子測(cè)試的設(shè)備,主要用于在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中對(duì)芯片或材料進(jìn)行電學(xué)性能測(cè)試。它的主要功能包括:
1. **電氣測(cè)試**:探針臺(tái)配備有探針,可以直接接觸到芯片上的電氣接點(diǎn),進(jìn)行電性能測(cè)試,比如電流、電壓、阻抗等。
2. **溫度控制**:許多探針臺(tái)具有溫度控制功能,可以在高溫或低溫下進(jìn)行測(cè)試,以評(píng)估材料或器件在不同溫度下的特性。
3. **真空環(huán)境**:某些探針臺(tái)可以在真空環(huán)境下操作,以減少空氣對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響,尤其是在某些敏感實(shí)驗(yàn)中。
4. **圖像捕捉與分析**:探針臺(tái)通常配備有顯微鏡,可以對(duì)芯片進(jìn)行觀察,幫助技術(shù)人員準(zhǔn)確定位探針和分析測(cè)試結(jié)果。
5. **自動(dòng)化測(cè)試**:一些探針臺(tái)能夠與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配合,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作和數(shù)據(jù)采集,提高測(cè)試效率和準(zhǔn)確性。
6. **多功能擴(kuò)展**:探針臺(tái)可以與其他設(shè)備(如信號(hào)發(fā)生器、示波器等)聯(lián)動(dòng),進(jìn)行更復(fù)雜的電氣測(cè)試和分析。
探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)、電子工程等領(lǐng)域,是研究和開發(fā)新型電子元件的重要工具。

高低溫真空探針臺(tái)是一種用于材料和半導(dǎo)體器件測(cè)試的設(shè)備,能夠在極端溫度和真空環(huán)境下進(jìn)行電氣特性測(cè)量。其主要功能包括:
1. **溫度控制**:能夠在廣泛的溫度范圍內(nèi)(通常從低于零度到幾百度攝氏)控制樣品的溫度,便于研究材料在不同溫度下的性能變化。
2. **真空環(huán)境**:提供低壓真空環(huán)境,以減少氣體分子對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,尤其是在材料表面或界面反應(yīng)的研究中。
3. **電氣測(cè)試**:可以連接測(cè)試儀器(如示波器、源測(cè)量單元等)進(jìn)行電流、電壓等電學(xué)特性的測(cè)量。
4. **多種探針配置**:可以靈活配置探針的數(shù)量和類型,以適應(yīng)不同的實(shí)驗(yàn)需求,如單點(diǎn)探測(cè)或多點(diǎn)測(cè)量。
5. **樣品放置**:支持多種類型的樣品放置方式,如晶圓、薄膜、納米結(jié)構(gòu)等,以開展多樣化的實(shí)驗(yàn)。
6. **數(shù)據(jù)采集與分析**:配合相關(guān)軟件,可以進(jìn)行實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集和后續(xù)分析,幫助科研人員深入理解材料性能。
高低溫真空探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、物理、材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究和開發(fā)中,尤其是在新材料的開發(fā)和半導(dǎo)體器件的性能測(cè)試方面具有重要意義。

真空探針臺(tái)是一種用于微電子器件測(cè)試與研究的精密儀器,其主要功能包括:
1. **電學(xué)測(cè)試**:能夠?qū)Π雽?dǎo)體器件進(jìn)行電性能測(cè)試,如IV(電流-電壓)特性測(cè)試、CV(電容-電壓)特性測(cè)試等。
2. **高真空環(huán)境**:提供高真空或真空環(huán)境,減少氣體分子對(duì)測(cè)試結(jié)果的干擾,特別是在處理空氣敏感材料或量子特性研究時(shí)尤為重要。
3. **微觀定位**:由于其高精度的定位功能,能夠?qū)ξ⑿〗Y(jié)構(gòu)進(jìn)行接觸和掃描,適用于納米尺度設(shè)備的測(cè)試。
4. **冷熱測(cè)試**:部分真空探針臺(tái)配備溫控系統(tǒng),可以在低溫或高溫條件下進(jìn)行測(cè)試,以研究材料和器件在不同溫度下的特性。
5. **材料表征**:能夠?qū)Ρ∧?、納米材料等進(jìn)行表征,分析其電學(xué)性質(zhì)、表面狀態(tài)等。
6. **集成化測(cè)試**:可以與其他儀器(如掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡等)聯(lián)用,進(jìn)行更深入的材料或器件分析。
總之,真空探針臺(tái)是半導(dǎo)體研究、材料科學(xué)等領(lǐng)域中的重要設(shè)備。
光學(xué)探針臺(tái)是一種精密測(cè)量和表征材料及器件的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。其適用范圍主要包括:
1. **半導(dǎo)體行業(yè)**:用于測(cè)試和表征半導(dǎo)體材料和器件的光學(xué)特性,例如光電流、發(fā)光特性和光譜響應(yīng)等。
2. **材料科學(xué)**:用于研究材料(如納米材料、薄膜等)的光學(xué)性質(zhì),包括反射、折射、吸收和散射等。
3. **生物醫(yī)學(xué)**:用于生物樣品的光學(xué)成像、熒光檢測(cè)和細(xì)胞分析等,幫助研究細(xì)胞行為和生物反應(yīng)。
4. **光電子學(xué)**:用于開發(fā)和測(cè)試光電子器件(如激光器、光探測(cè)器等)的性能,評(píng)估它們?cè)诓煌ㄩL(zhǎng)下的響應(yīng)。
5. **光學(xué)學(xué)研究**:用于基礎(chǔ)光學(xué)實(shí)驗(yàn)和高精度測(cè)量,研究光的傳播、干涉、衍射等現(xiàn)象。
6. **照明工程**:用于分析光源的光譜特性和光分布,以優(yōu)化照明設(shè)計(jì)。
光學(xué)探針臺(tái)通過其高精度和高穩(wěn)定性,能夠?yàn)樯鲜鲱I(lǐng)域的研究和開發(fā)提供重要支持。
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