真空腔室Ф246×260mm,304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
分子泵國產(chǎn)FF-63/80分子泵
前級泵機械泵
真空規(guī)全量程真空規(guī)
蒸發(fā)源電阻蒸發(fā)源(兼容金屬與有機蒸發(fā))3組,可切換使用
蒸發(fā)電源2000W直流蒸發(fā)電源1臺,供3組蒸發(fā)源切換使用
控制系統(tǒng)PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套
冷水機LX-300
膜厚儀FTM-107A單探頭
前級閥GDC-25b電磁擋板閥1套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺可拆卸式60×60mm,具備水冷、旋轉(zhuǎn)功能
真空管路波紋管、真空管道等1套
設(shè)備機架機電一體化
預(yù)留接口CF35一個
輔件備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
電阻蒸鍍機是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、光學(xué)薄膜等領(lǐng)域。其工作原理是通過將金屬或其他材料加熱至蒸發(fā)點,形成氣相,然后在基材表面凝結(jié)形成薄膜。
電阻蒸鍍機的主要組成部分包括:
1. **電阻加熱元件**:通常采用鎳鉻合金或鎢等材料,能在通電時產(chǎn)生高溫,將待蒸鍍的材料加熱至蒸發(fā)。
2. **真空系統(tǒng)**:通過抽真空來降低氣壓,減少氣體分子之間的碰撞,確保蒸發(fā)的材料能夠有效沉積在基材表面。
3. **冷卻系統(tǒng)**:用于冷卻基材或其他組件,防止過熱和確保沉積質(zhì)量。
4. **控制系統(tǒng)**:用于監(jiān)測和控制蒸鍍過程中的參數(shù),如溫度、蒸發(fā)速率、沉積時間等。
電阻蒸鍍的優(yōu)點包括沉積速度快、膜層均勻、附著力好等,但也存在一些限制,如材料的選擇限制、設(shè)備成本較高等。
在實際應(yīng)用中,電阻蒸鍍技術(shù)可以實現(xiàn)多種功能薄膜的制備,比如反射鏡、抗反射涂層、導(dǎo)電膜等。
有機蒸發(fā)鍍膜機是一種用于在基材上沉積有機薄膜的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于光電器件、顯示器、太陽能電池等領(lǐng)域。其主要特點包括:
1. **能沉積**:有機蒸發(fā)鍍膜機能夠地將有機材料轉(zhuǎn)化為氣相并沉積在基材表面,形成均勻的薄膜。
2. **良好的膜質(zhì)量**:設(shè)備通常采用的真空技術(shù),能夠有效去除雜質(zhì),從而獲得量的有機薄膜,具有良好的光學(xué)和電氣性能。
3. **自動化程度高**:現(xiàn)代有機蒸發(fā)鍍膜機一般配備自動化控制系統(tǒng),能夠控制各個工藝參數(shù),如溫度、壓力、沉積速率等,提升了生產(chǎn)效率和膜層一致性。
4. **適應(yīng)性強**:該設(shè)備可以處理類型的有機材料,包括小分子有機物和高分子聚合物,適用于不同的應(yīng)用需求。
5. **設(shè)備靈活性**:有機蒸發(fā)鍍膜機通常具有較高的配置靈活性,可以根據(jù)不同的工藝需求進(jìn)行調(diào)整和改造,適應(yīng)多種生產(chǎn)環(huán)境。
6. **節(jié)能環(huán)保**:部分有機蒸發(fā)鍍膜機采用節(jié)能設(shè)計,降低了能源消耗,同時在材料選擇和生產(chǎn)過程中也考慮環(huán)保因素。
7. **適用于大面積沉積**:一些型號能夠?qū)崿F(xiàn)大面積基材的沉積,滿足大尺寸器件的生產(chǎn)需求。
綜上所述,有機蒸發(fā)鍍膜機憑借其、靈活和環(huán)保的特點,成為了現(xiàn)代電子和光電產(chǎn)業(yè)中的重要設(shè)備。

桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀是一種常用的薄膜沉積設(shè)備,具有以下幾個顯著特點:
1. **緊湊設(shè)計**:桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀通常體積較小,適合在實驗室或小型生產(chǎn)環(huán)境中使用,便于放置和操作。
2. **蒸發(fā)**:利用熱源加熱蒸發(fā)材料,使其蒸發(fā)并沉積在基底上,能夠?qū)崿F(xiàn)的薄膜沉積。
3. **材料多樣性**:可以使用多種類型的蒸發(fā)材料,如金屬、氧化物等,適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。
4. **真空系統(tǒng)**:一般配備有真空泵,能夠在相對較低的壓力下工作,提高膜層的純度和均勻性。
5. **易于控制**:搭載有控制系統(tǒng),能調(diào)節(jié)蒸發(fā)速率和沉積厚度,方便用戶根據(jù)實驗要求進(jìn)行參數(shù)設(shè)置。
6. **適應(yīng)性強**:可用于不同尺寸和形狀的基底,如平片、膠卷等,滿足不同實驗或生產(chǎn)需求。
7. **品質(zhì)監(jiān)測**:一些型號可能配備有膜厚監(jiān)測系統(tǒng),實時監(jiān)控沉積過程,確保膜厚的一致性。
8. **維護(hù)簡單**:相對而言,桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀的維護(hù)和操作相對簡單,適合研究人員和技術(shù)人員使用。
總之,桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀以其靈活性、便捷性和性,在材料科學(xué)、光電器件制造及其他相關(guān)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

有機蒸發(fā)鍍膜機是一種用于薄膜材料的沉積設(shè)備,主要應(yīng)用于電子、光電、光學(xué)等領(lǐng)域。其功能主要包括:
1. **薄膜沉積**:通過加熱有機材料,使其蒸發(fā)并沉積在基板表面,形成均勻的薄膜。
2. **控制膜厚**:可以控制沉積的膜厚度,以滿足應(yīng)用需求。
3. **大面積涂層**:適用于大尺寸基板的涂層工藝,滿足工業(yè)生產(chǎn)需求。
4. **高真空環(huán)境**:在高真空條件下進(jìn)行鍍膜,減少雜質(zhì),提升膜層質(zhì)量。
5. **材料適應(yīng)性**:可用于多種有機材料的鍍膜,如聚合物、染料、液晶等。
6. **多層膜結(jié)構(gòu)**:能夠?qū)崿F(xiàn)多層膜的沉積,適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)的器件。
7. **智能控制**:現(xiàn)代設(shè)備通常配備的控制系統(tǒng),可以自動調(diào)節(jié)參數(shù),提升生產(chǎn)效率和膜的均勻性。
通過以上功能,有機蒸發(fā)鍍膜機在太陽能電池、顯示器、傳感器等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。

電阻蒸鍍機是一種廣泛應(yīng)用于薄膜沉積技術(shù)的設(shè)備,主要用于在基材表面沉積金屬或其他材料。其主要特點包括:
1. **能**:電阻蒸鍍機能夠快速有效地將材料蒸發(fā)并沉積到基材上,適合大規(guī)模生產(chǎn)和連續(xù)作業(yè)。
2. **控制精度高**:該設(shè)備通常配備精密的電流和溫度控制系統(tǒng),可以準(zhǔn)確調(diào)節(jié)蒸發(fā)過程中材料的蒸發(fā)速率,從而實現(xiàn)均勻的薄膜厚度。
3. **材料適應(yīng)性強**:電阻蒸鍍機可以使用多種金屬和合金材料,包括鋁、銅、銀、金等。
4. **真空環(huán)境**:為了提高沉積質(zhì)量,電阻蒸鍍過程通常在真空環(huán)境下進(jìn)行,減少了氧化和污染的風(fēng)險。
5. **簡便的操作**:相較于其他蒸鍍技術(shù),電阻蒸鍍機的操作相對簡單,易于實現(xiàn)自動化。
6. **可實現(xiàn)多層沉積**:通過控制同時蒸發(fā)不同材料,電阻蒸鍍機可以實現(xiàn)多層膜的沉積,適用于復(fù)雜的光電器件和微電子器件的制造。
7. ****:相較于其他一些物相沉積技術(shù),電阻蒸鍍機的設(shè)備和運行成本較低。
8. **環(huán)保性**:電阻蒸鍍過程中產(chǎn)生的廢物較少,對環(huán)境的影響相對較小。
這些特點使電阻蒸鍍機在半導(dǎo)體、光電材料、光學(xué)涂層等領(lǐng)域獲得了廣泛應(yīng)用。
手套箱一體機(Glove Box)是一種封閉式操作設(shè)備,廣泛應(yīng)用于需要在無塵、無氧、無污染環(huán)境下進(jìn)行實驗或操作的領(lǐng)域。其主要適用范圍包括:
1. **化學(xué)實驗室**:用于處理敏感化學(xué)品或危險化學(xué)品,防止氣體泄漏或與空氣中的水分和氧氣反應(yīng)。
2. **材料科學(xué)**:在合成新材料、存儲和制造高敏感性材料(如電池材料、光電材料)時使用,避免與空氣接觸。
3. **生物醫(yī)學(xué)研究**:在無菌環(huán)境下進(jìn)行細(xì)胞培養(yǎng)、基因編輯等實驗,確保樣品不受外界污染。
4. **制藥工業(yè)**:用于藥物的研發(fā)與生產(chǎn)過程,確保符合嚴(yán)格的無菌和無塵要求。
5. **半導(dǎo)體行業(yè)**:在集成電路和電子元件的生產(chǎn)過程中,避免灰塵和雜質(zhì)影響產(chǎn)品質(zhì)量。
6. **核能和放射性材料研究**:用于安全處理放射性物質(zhì),防止泄漏。
7. **環(huán)境科學(xué)**:用于處理和分析污染物樣本,確保實驗條件可控。
總之,手套箱一體機適合需要高度控制環(huán)境的科研和工業(yè)應(yīng)用。
http://m.wenhaozhong.com