真空腔室Ф246×260mm,304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
分子泵國產(chǎn)FF-63/80分子泵
前級泵機械泵
真空規(guī)全量程真空規(guī)
蒸發(fā)源電阻蒸發(fā)源(兼容金屬與有機蒸發(fā))3組,可切換使用
蒸發(fā)電源2000W直流蒸發(fā)電源1臺,供3組蒸發(fā)源切換使用
控制系統(tǒng)PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套
冷水機LX-300
膜厚儀FTM-107A單探頭
前級閥GDC-25b電磁擋板閥1套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺可拆卸式60×60mm,具備水冷、旋轉(zhuǎn)功能
真空管路波紋管、真空管道等1套
設(shè)備機架機電一體化
預(yù)留接口CF35一個
輔件備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
有機蒸發(fā)鍍膜機是一種用于在基材上沉積有機薄膜材料的設(shè)備。這種設(shè)備廣泛應(yīng)用于電子、光電、光學(xué)、柔性顯示器等領(lǐng)域。其工作原理通常包括以下幾個步驟:
1. **材料蒸發(fā)**:將有機材料加熱至其蒸發(fā)溫度,使其從固態(tài)或液態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)。
2. **氣體擴散**:蒸發(fā)產(chǎn)生的有機蒸氣通過真空腔擴散到基材表面。
3. **薄膜沉積**:有機蒸氣在基材表面冷凝并沉積形成薄膜。該過程中的溫度、壓力、基材的運動等都會影響沉積的薄膜質(zhì)量和厚度。
4. **控制系統(tǒng)**:現(xiàn)代有機蒸發(fā)鍍膜機通常配備的控制系統(tǒng),可以控制溫度、真空度、沉積速率等參數(shù),以確保薄膜的均勻性和一致性。
有機蒸發(fā)鍍膜的優(yōu)勢包括能夠制備的有機薄膜,適用于形狀和材質(zhì)的基材,同時也適合于大面積涂覆。但是,由于有機材料的特點,其在處理和存儲方面需要特別注意,以防止氧化和降解。
桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀是一種常用的薄膜沉積設(shè)備,具有以下幾個顯著特點:
1. **緊湊設(shè)計**:桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀通常體積較小,適合在實驗室或小型生產(chǎn)環(huán)境中使用,便于放置和操作。
2. **蒸發(fā)**:利用熱源加熱蒸發(fā)材料,使其蒸發(fā)并沉積在基底上,能夠?qū)崿F(xiàn)的薄膜沉積。
3. **材料多樣性**:可以使用多種類型的蒸發(fā)材料,如金屬、氧化物等,適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。
4. **真空系統(tǒng)**:一般配備有真空泵,能夠在相對較低的壓力下工作,提高膜層的純度和均勻性。
5. **易于控制**:搭載有控制系統(tǒng),能調(diào)節(jié)蒸發(fā)速率和沉積厚度,方便用戶根據(jù)實驗要求進行參數(shù)設(shè)置。
6. **適應(yīng)性強**:可用于不同尺寸和形狀的基底,如平片、膠卷等,滿足不同實驗或生產(chǎn)需求。
7. **品質(zhì)監(jiān)測**:一些型號可能配備有膜厚監(jiān)測系統(tǒng),實時監(jiān)控沉積過程,確保膜厚的一致性。
8. **維護簡單**:相對而言,桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀的維護和操作相對簡單,適合研究人員和技術(shù)人員使用。
總之,桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀以其靈活性、便捷性和性,在材料科學(xué)、光電器件制造及其他相關(guān)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

蒸發(fā)舟是一種常用于材料科學(xué)和薄膜制備的設(shè)備,特別是在物相沉積(PVD)技術(shù)中。蒸發(fā)舟的主要作用是通過加熱將固態(tài)材料轉(zhuǎn)化為氣態(tài),以實現(xiàn)薄膜的沉積。蒸發(fā)舟蒸發(fā)顆粒的特點主要包括以下幾個方面:
1. **均勻性**:蒸發(fā)過程中,顆粒的蒸發(fā)速率較為均勻,能夠在基底上形成均勻的薄膜。
2. **可控性**:通過調(diào)節(jié)加熱溫度和加熱時間,可以控制蒸發(fā)速率,從而調(diào)節(jié)薄膜的厚度和組成。
3. **材料兼容性**:蒸發(fā)舟可以用于多種不同材料的蒸發(fā),如金屬、氧化物和高分子材料等,適應(yīng)性較強。
4. **顆粒尺寸**:蒸發(fā)顆粒的尺寸通常較小,有助于加快蒸發(fā)速度,提升薄膜的沉積效率。
5. **高純度**:蒸發(fā)舟中使用的材料一般要求高純度,以確保終薄膜的性能和質(zhì)量。
6. **熱穩(wěn)定性**:蒸發(fā)舟本身需要具備良好的熱穩(wěn)定性,以承受高溫而不發(fā)生變形或熔化。
7. **氣氛控制**:蒸發(fā)實驗通常在真空或特定氣氛中進行,以避免反應(yīng)雜質(zhì)的影響,確保顆粒的質(zhì)量。
這些特點使得蒸發(fā)舟在真空蒸發(fā)和其他沉積技術(shù)中得到了廣泛應(yīng)用。

電阻蒸鍍機是一種廣泛應(yīng)用于薄膜沉積技術(shù)的設(shè)備,主要用于在基材表面沉積金屬或其他材料。其主要特點包括:
1. **能**:電阻蒸鍍機能夠快速有效地將材料蒸發(fā)并沉積到基材上,適合大規(guī)模生產(chǎn)和連續(xù)作業(yè)。
2. **控制精度高**:該設(shè)備通常配備精密的電流和溫度控制系統(tǒng),可以準(zhǔn)確調(diào)節(jié)蒸發(fā)過程中材料的蒸發(fā)速率,從而實現(xiàn)均勻的薄膜厚度。
3. **材料適應(yīng)性強**:電阻蒸鍍機可以使用多種金屬和合金材料,包括鋁、銅、銀、金等。
4. **真空環(huán)境**:為了提高沉積質(zhì)量,電阻蒸鍍過程通常在真空環(huán)境下進行,減少了氧化和污染的風(fēng)險。
5. **簡便的操作**:相較于其他蒸鍍技術(shù),電阻蒸鍍機的操作相對簡單,易于實現(xiàn)自動化。
6. **可實現(xiàn)多層沉積**:通過控制同時蒸發(fā)不同材料,電阻蒸鍍機可以實現(xiàn)多層膜的沉積,適用于復(fù)雜的光電器件和微電子器件的制造。
7. ****:相較于其他一些物相沉積技術(shù),電阻蒸鍍機的設(shè)備和運行成本較低。
8. **環(huán)保性**:電阻蒸鍍過程中產(chǎn)生的廢物較少,對環(huán)境的影響相對較小。
這些特點使電阻蒸鍍機在半導(dǎo)體、光電材料、光學(xué)涂層等領(lǐng)域獲得了廣泛應(yīng)用。

有機蒸發(fā)鍍膜機是一種用于薄膜材料的沉積設(shè)備,主要應(yīng)用于電子、光電、光學(xué)等領(lǐng)域。其功能主要包括:
1. **薄膜沉積**:通過加熱有機材料,使其蒸發(fā)并沉積在基板表面,形成均勻的薄膜。
2. **控制膜厚**:可以控制沉積的膜厚度,以滿足應(yīng)用需求。
3. **大面積涂層**:適用于大尺寸基板的涂層工藝,滿足工業(yè)生產(chǎn)需求。
4. **高真空環(huán)境**:在高真空條件下進行鍍膜,減少雜質(zhì),提升膜層質(zhì)量。
5. **材料適應(yīng)性**:可用于多種有機材料的鍍膜,如聚合物、染料、液晶等。
6. **多層膜結(jié)構(gòu)**:能夠?qū)崿F(xiàn)多層膜的沉積,適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)的器件。
7. **智能控制**:現(xiàn)代設(shè)備通常配備的控制系統(tǒng),可以自動調(diào)節(jié)參數(shù),提升生產(chǎn)效率和膜的均勻性。
通過以上功能,有機蒸發(fā)鍍膜機在太陽能電池、顯示器、傳感器等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。
電阻蒸鍍機是一種用于材料蒸發(fā)沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于領(lǐng)域。其適用范圍包括但不限于以下幾個方面:
1. **半導(dǎo)體行業(yè)**:用于制造集成電路、傳感器等器件的金屬電極和薄膜。
2. **光電設(shè)備**:在太陽能電池、顯示器(如LCD和OLED)及光伏組件的制造中,用于沉積導(dǎo)電薄膜和反射膜。
3. **光學(xué)涂層**:用于光學(xué)器件如鏡頭、濾光片等的反射或抗反射 coating。
4. **包裝材料**:在某些特殊包裝材料中,電阻蒸鍍可用于增強氣密性或加涂保護層。
5. **飾品與工藝品**:在珠寶、手表等消費品的表面處理上,提供金屬鍍層以增加美觀及耐腐蝕性。
6. **管道與設(shè)備**:在某些工業(yè)應(yīng)用中,用于管道或設(shè)備表面的金屬涂層。
總的來說,電阻蒸鍍機因其高精度、高均勻性和良好的附著力,廣泛應(yīng)用于需要精細金屬沉積的各個行業(yè)。
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