真空腔室Ф246×260mm,304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
分子泵國產(chǎn)FF-63/80分子泵
前級(jí)泵機(jī)械泵
真空規(guī)全量程真空規(guī)
蒸發(fā)源電阻蒸發(fā)源(兼容金屬與有機(jī)蒸發(fā))3組,可切換使用
蒸發(fā)電源2000W直流蒸發(fā)電源1臺(tái),供3組蒸發(fā)源切換使用
控制系統(tǒng)PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套
冷水機(jī)LX-300
膜厚儀FTM-107A單探頭
前級(jí)閥GDC-25b電磁擋板閥1套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺(tái)可拆卸式60×60mm,具備水冷、旋轉(zhuǎn)功能
真空管路波紋管、真空管道等1套
設(shè)備機(jī)架機(jī)電一體化
預(yù)留接口CF35一個(gè)
輔件備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、材料科學(xué)等領(lǐng)域。其基本原理是通過加熱材料,使其蒸發(fā)成氣態(tài),然后在基底表面凝結(jié)形成薄膜。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)通常由以下幾個(gè)主要部分組成:
1. **真空腔體**:提供低壓環(huán)境,以減少氣體分子對(duì)蒸發(fā)材料和沉積薄膜的干擾。
2. **加熱源**:通常使用電阻加熱絲或電子束加熱來加熱蒸發(fā)材料,達(dá)到其蒸發(fā)溫度。
3. **蒸發(fā)源**:放置待蒸發(fā)材料的容器,可以是鑄坯、靶材等。
4. **基底夾持系統(tǒng)**:用于固定和加熱待涂覆的基底,一般位于蒸發(fā)源的上方。
5. **監(jiān)控系統(tǒng)**:用于監(jiān)測(cè)沉積速度和膜厚,常用的技術(shù)有石英晶體振蕩器或光學(xué)膜厚測(cè)量。
6. **冷卻系統(tǒng)**:在一些情況下,可能需要冷卻基底以改善膜的品質(zhì)。
熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)的優(yōu)點(diǎn)包括沉積速度快、膜層均勻、膜的純度高等,但也有局限性,如膜的附著力和應(yīng)力問題。
在選購和使用熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)時(shí),需要根據(jù)具體的應(yīng)用需求,例如膜材料、沉積速率、膜厚度及基底材料等制定相應(yīng)的方案。
桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀是一種常用的薄膜沉積設(shè)備,具有以下幾個(gè)顯著特點(diǎn):
1. **緊湊設(shè)計(jì)**:桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀通常體積較小,適合在實(shí)驗(yàn)室或小型生產(chǎn)環(huán)境中使用,便于放置和操作。
2. **蒸發(fā)**:利用熱源加熱蒸發(fā)材料,使其蒸發(fā)并沉積在基底上,能夠?qū)崿F(xiàn)的薄膜沉積。
3. **材料多樣性**:可以使用多種類型的蒸發(fā)材料,如金屬、氧化物等,適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。
4. **真空系統(tǒng)**:一般配備有真空泵,能夠在相對(duì)較低的壓力下工作,提高膜層的純度和均勻性。
5. **易于控制**:搭載有控制系統(tǒng),能調(diào)節(jié)蒸發(fā)速率和沉積厚度,方便用戶根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求進(jìn)行參數(shù)設(shè)置。
6. **適應(yīng)性強(qiáng)**:可用于不同尺寸和形狀的基底,如平片、膠卷等,滿足不同實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)需求。
7. **品質(zhì)監(jiān)測(cè)**:一些型號(hào)可能配備有膜厚監(jiān)測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)控沉積過程,確保膜厚的一致性。
8. **維護(hù)簡(jiǎn)單**:相對(duì)而言,桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀的維護(hù)和操作相對(duì)簡(jiǎn)單,適合研究人員和技術(shù)人員使用。
總之,桌面型熱蒸發(fā)鍍膜儀以其靈活性、便捷性和性,在材料科學(xué)、光電器件制造及其他相關(guān)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)是一種用于在基材上沉積有機(jī)薄膜的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于光電器件、顯示器、太陽能電池等領(lǐng)域。其主要特點(diǎn)包括:
1. **能沉積**:有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)能夠地將有機(jī)材料轉(zhuǎn)化為氣相并沉積在基材表面,形成均勻的薄膜。
2. **良好的膜質(zhì)量**:設(shè)備通常采用的真空技術(shù),能夠有效去除雜質(zhì),從而獲得量的有機(jī)薄膜,具有良好的光學(xué)和電氣性能。
3. **自動(dòng)化程度高**:現(xiàn)代有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般配備自動(dòng)化控制系統(tǒng),能夠控制各個(gè)工藝參數(shù),如溫度、壓力、沉積速率等,提升了生產(chǎn)效率和膜層一致性。
4. **適應(yīng)性強(qiáng)**:該設(shè)備可以處理類型的有機(jī)材料,包括小分子有機(jī)物和高分子聚合物,適用于不同的應(yīng)用需求。
5. **設(shè)備靈活性**:有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)通常具有較高的配置靈活性,可以根據(jù)不同的工藝需求進(jìn)行調(diào)整和改造,適應(yīng)多種生產(chǎn)環(huán)境。
6. **節(jié)能環(huán)保**:部分有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)采用節(jié)能設(shè)計(jì),降低了能源消耗,同時(shí)在材料選擇和生產(chǎn)過程中也考慮環(huán)保因素。
7. **適用于大面積沉積**:一些型號(hào)能夠?qū)崿F(xiàn)大面積基材的沉積,滿足大尺寸器件的生產(chǎn)需求。
綜上所述,有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)憑借其、靈活和環(huán)保的特點(diǎn),成為了現(xiàn)代電子和光電產(chǎn)業(yè)中的重要設(shè)備。

小型熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是一種常見的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,主要用于材料表面的薄膜沉積,其特點(diǎn)包括:
1. **小巧便攜**:設(shè)計(jì)緊湊,適合實(shí)驗(yàn)室、研究機(jī)構(gòu)及小規(guī)模生產(chǎn)等場(chǎng)所使用,便于搬運(yùn)和安裝。
2. **操作簡(jiǎn)便**:通常配備直觀的操作界面和控制系統(tǒng),便于用戶操作和調(diào)節(jié)參數(shù)。
3. **蒸發(fā)效率高**:利用熱蒸發(fā)原理,能夠在較短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)率的鍍膜過程。
4. **適用材料廣泛**:可以用于多種金屬及某些非金屬材料的蒸發(fā)鍍膜,適應(yīng)性強(qiáng)。
5. **膜層質(zhì)量好**:能夠沉積出均勻、致密的薄膜,滿足高要求的光學(xué)、電氣性能。
6. **真空環(huán)境**:配置高真空系統(tǒng),可以有效防止污染,提高膜層純度。
7. **溫度控制**:具備的溫度控制功能,能夠調(diào)節(jié)蒸發(fā)源的溫度,以優(yōu)化膜層性能。
8. **成本相對(duì)較低**:相比于大型鍍膜設(shè)備,投資成本較低,適合預(yù)算有限的單位。
9. **多樣化的附加功能**:部分設(shè)備還可以選配如厚度監(jiān)測(cè)、靶材更換等功能,以提高應(yīng)用的靈活性。
10. **節(jié)能環(huán)保**:現(xiàn)代設(shè)備在設(shè)計(jì)上往往考慮能耗,運(yùn)行過程中的能量利用效率較高。
這些特點(diǎn)使得小型熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)在科學(xué)研究、新材料開發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中擁有廣泛的應(yīng)用前景。

電阻蒸鍍機(jī)是一種廣泛應(yīng)用于薄膜沉積技術(shù)的設(shè)備,主要用于在基材表面沉積金屬或其他材料。其主要特點(diǎn)包括:
1. **能**:電阻蒸鍍機(jī)能夠快速有效地將材料蒸發(fā)并沉積到基材上,適合大規(guī)模生產(chǎn)和連續(xù)作業(yè)。
2. **控制精度高**:該設(shè)備通常配備精密的電流和溫度控制系統(tǒng),可以準(zhǔn)確調(diào)節(jié)蒸發(fā)過程中材料的蒸發(fā)速率,從而實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜厚度。
3. **材料適應(yīng)性強(qiáng)**:電阻蒸鍍機(jī)可以使用多種金屬和合金材料,包括鋁、銅、銀、金等。
4. **真空環(huán)境**:為了提高沉積質(zhì)量,電阻蒸鍍過程通常在真空環(huán)境下進(jìn)行,減少了氧化和污染的風(fēng)險(xiǎn)。
5. **簡(jiǎn)便的操作**:相較于其他蒸鍍技術(shù),電阻蒸鍍機(jī)的操作相對(duì)簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
6. **可實(shí)現(xiàn)多層沉積**:通過控制同時(shí)蒸發(fā)不同材料,電阻蒸鍍機(jī)可以實(shí)現(xiàn)多層膜的沉積,適用于復(fù)雜的光電器件和微電子器件的制造。
7. ****:相較于其他一些物相沉積技術(shù),電阻蒸鍍機(jī)的設(shè)備和運(yùn)行成本較低。
8. **環(huán)保性**:電阻蒸鍍過程中產(chǎn)生的廢物較少,對(duì)環(huán)境的影響相對(duì)較小。
這些特點(diǎn)使電阻蒸鍍機(jī)在半導(dǎo)體、光電材料、光學(xué)涂層等領(lǐng)域獲得了廣泛應(yīng)用。
有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)主要用于在基材上沉積有機(jī)薄膜,廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
1. **顯示器行業(yè)**:用于制造OLED(有機(jī)發(fā)光二極管)顯示屏,包括電視、手機(jī)和其他電子設(shè)備。
2. **光伏產(chǎn)業(yè)**:在太陽能電池制造中用于沉積薄膜,有助于提高光電轉(zhuǎn)化效率。
3. **光學(xué)涂層**:用于制作光學(xué)器件的抗反射涂層,增強(qiáng)光學(xué)性能。
4. **傳感器**:制造氣體傳感器、溫度傳感器等,利用有機(jī)材料的特性進(jìn)行性能優(yōu)化。
5. **薄膜電容器**:用于電子元件中,以提高電容器的性能和穩(wěn)定性。
6. **包裝行業(yè)**:用于食品包裝材料的表面處理,改善阻隔性和耐久性。
7. **藝術(shù)及裝飾**:在一些藝術(shù)作品或裝飾品上,使用有機(jī)薄膜達(dá)到特定的視覺和觸感效果。
有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)因其高精度和可控性,能夠滿足不同領(lǐng)域?qū)Ρ∧ば阅艿亩鄻踊枨蟆?br />
http://m.wenhaozhong.com