真空腔室Ф246×228mm,304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
分子泵進(jìn)口Pfeiffer分子泵
前級(jí)泵機(jī)械泵,北儀優(yōu)成
真空規(guī)全量程真空規(guī),上海玉川
濺射靶Ф2英寸永磁靶2支(含靶擋板)
濺射電源500W直流電源1臺(tái),300W射頻電源1臺(tái)
流量計(jì)20sccm/50sccm進(jìn)口WARWICK
控制系統(tǒng)PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套
冷水機(jī)LX-300
前級(jí)閥GDC-25b電磁擋板閥1套
旁路閥GDC-25b電磁擋板閥1套
限流閥DN63mm一套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
放氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺(tái)Ф100mm,高度:60~120mm可調(diào),旋轉(zhuǎn):0-20r/min可調(diào),可加熱至300℃
膜厚監(jiān)控儀進(jìn)口Inficon SQM-160單水冷探頭,精度0.1?(選配)
真空管路波紋管、真空管道等1套
設(shè)備機(jī)架機(jī)電一體化
預(yù)留接口CF35法蘭一個(gè)
備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
樣品臺(tái)通常指的是用于展示或測(cè)試物品的臺(tái)面,廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室、展覽、商店等場(chǎng)所。在實(shí)驗(yàn)室中,樣品臺(tái)可以用來(lái)放置化學(xué)試劑或生物樣本,以便進(jìn)行觀察和實(shí)驗(yàn)。在展覽中,樣品臺(tái)用于展示產(chǎn)品,以吸引觀眾的注意。商店中的樣品臺(tái)則用于展示商品,方便顧客查看和選擇。
如果你有更具體的問(wèn)題或者需要了解樣品臺(tái)的某個(gè)方面,請(qǐng)告訴我!
磁控濺射是一種廣泛應(yīng)用于薄膜沉積的技術(shù),主要用于在基材上沉積金屬、絕緣體或半導(dǎo)體材料。其功能和優(yōu)勢(shì)包括:
1. **量薄膜**:磁控濺射能夠沉積出均勻、致密且質(zhì)量?jī)?yōu)良的薄膜,適用于材料,包括金屬、合金和氧化物等。
2. **可控性強(qiáng)**:通過(guò)調(diào)節(jié)濺射參數(shù)(如氣壓、電源功率、磁場(chǎng)強(qiáng)度等),可以控制薄膜的厚度和性質(zhì)。
3. **低溫沉積**:與其他沉積技術(shù)相比,磁控濺射通常可以在較低溫度下進(jìn)行,這對(duì)于熱敏感材料尤為重要。
4. **多種材料的沉積**:可以在不同類(lèi)型的基材上沉積材料,適用范圍很廣。
5. **高沉積速率**:由于利用了磁場(chǎng)增強(qiáng)離子化過(guò)程,磁控濺射的沉積速率通常較高,能夠提高生產(chǎn)效率。
6. **良好的附著力**:沉積的薄膜與基材之間具有良好的附著力,適合用于多種應(yīng)用。
7. **均勻性和厚度控制**:可以實(shí)現(xiàn)大面積的均勻沉積,適用于需要大尺寸薄膜的應(yīng)用。
磁控濺射廣泛應(yīng)用于光電器件、太陽(yáng)能電池、薄膜電路、保護(hù)涂層等領(lǐng)域。

離子濺射儀是一種廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造和表面分析等領(lǐng)域的設(shè)備,其主要特點(diǎn)包括:
1. **高精度**:離子濺射儀能夠在原子或分子層級(jí)上進(jìn)行物質(zhì)的去除和沉積,具有的控制精度,適用于微米和納米級(jí)別的加工。
2. **多功能性**:該儀器可用于薄膜的沉積、表面清洗、材料分析等多種用途,適應(yīng)性強(qiáng)。
3. **層次控制**:可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料沉積厚度的控制,可以逐層沉積不同材料,適合制備多層膜結(jié)構(gòu)。
4. **較強(qiáng)的適應(yīng)性**:離子源與靶材的組合可以根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)整,使得該儀器可以處理多種不同類(lèi)型的材料。
5. **真空環(huán)境**:離子濺射在真空環(huán)境中進(jìn)行,有助于減少氣體分子對(duì)沉積過(guò)程的干擾,提高沉積質(zhì)量。
6. **可調(diào)節(jié)能量**:離子源可以調(diào)節(jié)離子的能量,從而控制濺射過(guò)程中的粒子能量,有利于改善沉積膜的性質(zhì)。
7. **低溫沉積**:相較于傳統(tǒng)的熱沉積方法,離子濺射在較低溫度下即可進(jìn)行,能夠減少熱敏感材料的損傷。
8. **表面改性**:通過(guò)選擇合適的離子種類(lèi)和能量,可以對(duì)材料表面進(jìn)行改性,如提高表面硬度或改變表面化學(xué)性質(zhì)。
總的來(lái)說(shuō),離子濺射儀因其高精度、多功能和良好的適應(yīng)性,在現(xiàn)代材料科學(xué)和工程中發(fā)揮著重要作用。

小型磁控濺射鍍膜機(jī)是一種常用于材料表面處理的設(shè)備,它的主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:能夠在基材表面沉積金屬、絕緣體或半導(dǎo)體薄膜,廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域。
2. **均勻性**:通過(guò)磁控濺射技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)良好的膜厚均勻性和致密性,有助于提高薄膜性能。
3. **可調(diào)性**:用戶(hù)可以根據(jù)不同的需求調(diào)整沉積參數(shù),如功率、氣壓和氣體成分,以獲得的沉積效果。
4. **多種材料選擇**:支持多種靶材的使用,能夠沉積不同材料的薄膜,如鋁、銅、氮化硅等。
5. **快速成膜**:小型磁控濺射鍍膜機(jī)相對(duì)快速,適合小批量實(shí)驗(yàn)或研發(fā)。
6. **低溫沉積**:允許在較低溫度下進(jìn)行沉積,有助于減少基材的熱負(fù)荷,適合對(duì)熱敏感材料的處理。
7. **簡(jiǎn)單操作**:由于其結(jié)構(gòu)緊湊且操作相對(duì)簡(jiǎn)單,適合實(shí)驗(yàn)室和小規(guī)模生產(chǎn)使用。
這些功能使得小型磁控濺射鍍膜機(jī)在科研、工業(yè)和教學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。

濺射靶是一種用于薄膜沉積技術(shù)的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于物理、材料科學(xué)和半導(dǎo)體工業(yè)。其主要功能包括:
1. **物質(zhì)沉積**:通過(guò)濺射技術(shù)將靶材(如金屬、合金或氧化物)中的原子或分子打出,并在基材表面形成薄膜。
2. **薄膜均勻性**:濺射靶能夠在較大的面積上實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜沉積,這對(duì)許多應(yīng)用至關(guān)重要。
3. **控制膜厚度**:通過(guò)調(diào)整濺射時(shí)間、功率和氣氛等參數(shù),可以控制沉積膜的厚度。
4. **材料多樣性**:能夠處理多種不同類(lèi)型的靶材,適用于不同的應(yīng)用需求。
5. **低溫沉積**:濺射過(guò)程通常在較低溫度下進(jìn)行,因此適合一些熱敏材料的沉積。
6. **量膜**:濺射技術(shù)可制作高致密性、低缺陷的薄膜,適合高性能電子元件和光電器件等。
7. **大面積沉積**:有些濺射靶可以實(shí)現(xiàn)大面積的一次性沉積,適合工業(yè)化生產(chǎn)。
8. **功能薄膜制備**:可以用于制備功能性薄膜,如透明導(dǎo)電氧化物(TCO)、磁性薄膜及其他材料。
濺射靶的技術(shù)進(jìn)步與材料科學(xué)的發(fā)展密切相關(guān),對(duì)推動(dòng)新材料的研究和應(yīng)用起到了重要作用。
桌面型磁控濺射鍍膜儀廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,主要包括:
1. **電子元件制造**:在半導(dǎo)體器件、傳感器、光電器件的生產(chǎn)中,用于沉積薄膜。
2. **光學(xué)器件**:用于光學(xué)涂層的制備,如鏡頭、光學(xué)濾光片等,以?xún)?yōu)化光的傳輸和反射特性。
3. **太陽(yáng)能電池**:在光伏材料的生產(chǎn)中,沉積導(dǎo)電和光吸收層。
4. **防腐涂層**:用于金屬表面的保護(hù)性涂層,提升耐磨性和防腐蝕性。
5. **功能性薄膜**:例如,電池、電容器及其他儲(chǔ)能器件中的功能薄膜。
6. **研究和開(kāi)發(fā)**:高校和科研機(jī)構(gòu)用于材料科學(xué)、物理、化學(xué)等領(lǐng)域的研究,探索新材料和新技術(shù)。
7. **生物醫(yī)用材料**:用于制備生物相容性涂層,如器械表面的生物處理。
由于其高精度和可控性,桌面型磁控濺射鍍膜儀在上述領(lǐng)域均有著重要的應(yīng)用價(jià)值。
http://m.wenhaozhong.com