溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩(wěn)定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數(shù)量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數(shù)量4(可增加)
探針材質(zhì)紫銅鍍金
測(cè)試通道4
載樣臺(tái)材質(zhì)及尺寸銀質(zhì),35*35mm(以實(shí)際尺寸為準(zhǔn))
冷熱臺(tái)尺寸160*150*29mm(以實(shí)際尺寸為準(zhǔn))
實(shí)驗(yàn)環(huán)境可抽真空,可充入保護(hù)氣氛(氮?dú)猓?,配水冷接?/span>
探針臺(tái)卡盤(Prober chuck)是半導(dǎo)體測(cè)試和測(cè)量設(shè)備中常用的一種組件,主要用于在測(cè)試過程中夾持和定位待測(cè)芯片或晶圓。探針臺(tái)通常用于集成電路(IC)的電性能測(cè)試,其主要功能包括:
1. **夾持**:確保芯片在測(cè)試時(shí)穩(wěn)定不動(dòng),避免因震動(dòng)或移動(dòng)導(dǎo)致測(cè)量誤差。
2. **熱管理**:某些探針臺(tái)卡盤設(shè)計(jì)中考慮了熱管理功能,可以有效散熱,以保證測(cè)試過程中芯片性能的一致性和準(zhǔn)確性。
3. **高精度定位**:支持微米級(jí)別的高精度定位,以便探針能夠接觸到芯片上的測(cè)試點(diǎn)。
4. **多功能性**:一些的探針臺(tái)卡盤可以支持多種測(cè)試模式,包括直流測(cè)試、交流測(cè)試、測(cè)試等。
5. **集成化設(shè)計(jì)**:現(xiàn)代探針臺(tái)卡盤往往與其他測(cè)試設(shè)備,如信號(hào)發(fā)生器、示波器等,進(jìn)行集成,以提高測(cè)試效率。
在選擇探針臺(tái)卡盤時(shí),需要考慮待測(cè)器件的類型、尺寸,所需的測(cè)試精度以及其他特定要求。
真空探針臺(tái)是一種用于微電子和材料科學(xué)領(lǐng)域的高精度測(cè)試設(shè)備,主要用于對(duì)半導(dǎo)體wafer、材料樣品的電氣特性進(jìn)行測(cè)量。其特點(diǎn)主要包括:
1. **高真空環(huán)境**:真空探針臺(tái)能夠在高真空條件下工作,減少氣體分子對(duì)測(cè)試過程的干擾,提高測(cè)量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。
2. **高精度定位**:該設(shè)備通常配備高精度的定位系統(tǒng),可以對(duì)準(zhǔn)探針與樣品的接觸點(diǎn),確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。
3. **多樣化探針選擇**:真空探針臺(tái)支持多種類型的探針,可根據(jù)不同的實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行更換,適應(yīng)不同的測(cè)試任務(wù)。
4. **溫度控制功能**:許多真空探針臺(tái)配備了溫度控制系統(tǒng),能夠在特定溫度下進(jìn)行測(cè)量,對(duì)于研究材料的溫度依賴特性尤為重要。
5. **高靈敏度測(cè)量**:在真空條件下,探針臺(tái)能夠進(jìn)行更高靈敏度的電氣測(cè)量,適合于低信號(hào)的測(cè)量任務(wù)。
6. **兼容性強(qiáng)**:真空探針臺(tái)通常可以與多種測(cè)試設(shè)備協(xié)同使用,如網(wǎng)絡(luò)分析儀、示波器等,滿足多種測(cè)試需求。
7. **自動(dòng)化程度**:現(xiàn)代真空探針臺(tái)往往具備自動(dòng)化控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦、掃描和數(shù)據(jù)采集,提高實(shí)驗(yàn)效率。
8. **適用范圍廣泛**:真空探針臺(tái)不僅可用于半導(dǎo)體行業(yè),還可廣泛應(yīng)用于材料測(cè)試、納米技術(shù)、生物傳感器等多個(gè)領(lǐng)域。
總體而言,真空探針臺(tái)是進(jìn)行精細(xì)化電氣測(cè)試的重要工具,其特性使其在科研和工業(yè)應(yīng)用中具有的地位。

探針夾具是一種用于電子測(cè)量和測(cè)試的工具,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、電子元件測(cè)試和電路板維修等領(lǐng)域。它的主要特點(diǎn)包括:
1. **性**:探針夾具能夠以極高的精度對(duì)接觸點(diǎn)施加壓力,以確??煽康碾姎饨佑|,從而提高測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。
2. **多功能性**:不同類型的探針夾具可以適配測(cè)試需求,包括不同類型的探針和接觸方式,滿足不同的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。
3. **可靠性**:的設(shè)計(jì)和材料選擇使得探針夾具在多次使用中保持穩(wěn)定的性能,降低故障率,提高測(cè)試的可靠性。
4. **靈活性**:探針夾具通常具有可調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu),可以適應(yīng)不同尺寸和形狀的被測(cè)物體,增強(qiáng)了使用的靈活性。
5. **易于操作**:設(shè)計(jì)時(shí)考慮到人機(jī)工程學(xué),使得操作者能夠方便地進(jìn)行裝配、調(diào)節(jié)和操作,減少了使用時(shí)的復(fù)雜性。
6. **兼容性**:探針夾具可以與多種測(cè)試設(shè)備(如示波器、萬用表等)兼容使用,提升測(cè)試系統(tǒng)的集成度。
7. **耐用性**:量的材料和精密的制造工藝確保了探針夾具的耐用性,在率使用的環(huán)境下仍能保持良好的性能。
8. **熱穩(wěn)定性**:一些探針夾具設(shè)計(jì)考慮到了熱膨脹的影響,保證在溫度變化下仍能提供穩(wěn)定的測(cè)試性能。
總之,探針夾具在電子測(cè)試和測(cè)量中扮演著重要角色,通過其優(yōu)良的設(shè)計(jì)和性能特征,能夠顯著提高測(cè)試效率和可靠性。

同軸真空饋通件是一種用于電子設(shè)備的連接器,主要用于在真空環(huán)境中傳輸信號(hào)。其特點(diǎn)包括:
1. **優(yōu)良的信號(hào)傳輸性能**:同軸結(jié)構(gòu)能夠有效地減少信號(hào)的損耗和反射,保證信號(hào)的質(zhì)量。
2. **良好的屏蔽性能**:同軸設(shè)計(jì)可提供較好的電磁干擾屏蔽,防止外部干擾信號(hào)影響傳輸質(zhì)量。
3. **耐高真空特性**:專門設(shè)計(jì)用于在真空環(huán)境中工作,不易受到氣體和水分的影響,適用于真空設(shè)備,如粒子加速器和真空腔等。
4. **高功率承受能力**:能夠承受較高的功率水平,適合用于高功率射頻應(yīng)用。
5. **機(jī)械穩(wěn)定性**:結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,能夠經(jīng)受一定的機(jī)械應(yīng)力和溫度變化。
6. **便于安裝和維護(hù)**:設(shè)計(jì)通??紤]到易于安裝和維護(hù),便于與其他設(shè)備連接。
7. **多種接口類型**:可根據(jù)需要提供不同類型的連接器接口,以適應(yīng)應(yīng)用場(chǎng)景。
以上這些特點(diǎn)使得同軸真空饋通件在通信、射頻設(shè)備及實(shí)驗(yàn)物理等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。

探針臺(tái)卡盤(probe station chuck)是用于半導(dǎo)體測(cè)試和材料研究的重要設(shè)備,其特點(diǎn)包括:
1. **高精度**:探針臺(tái)卡盤通常具有高精度的定位能力,能夠確保探針與測(cè)試樣品之間的對(duì)接,從而提高測(cè)試的準(zhǔn)確性。
2. **溫控能力**:許多探針臺(tái)卡盤配備有溫度控制系統(tǒng),可以在升溫或降溫的情況下進(jìn)行測(cè)試,幫助研究人員觀察材料在不同溫度下的性能變化。
3. **真空功能**:某些探針臺(tái)卡盤具有真空夾緊功能,可以確保樣品在測(cè)試過程中固定穩(wěn)定,減少外部干擾。
4. **兼容性強(qiáng)**:探針臺(tái)卡盤通常設(shè)計(jì)為兼容多種類型的測(cè)試探針和測(cè)試儀器,方便用戶進(jìn)行不同類型的實(shí)驗(yàn)。
5. **靈活性**:探針臺(tái)卡盤可以適應(yīng)不同尺寸和形狀的樣品,提供多種夾持方式,以滿足不同測(cè)試需求。
6. **性能**:針對(duì)信號(hào)測(cè)試的需求,一些探針臺(tái)卡盤具備良好的性能,能夠有效降低信號(hào)衰減和反射。
7. **用戶友好的操作界面**:現(xiàn)代探針臺(tái)常配備直觀的控制系統(tǒng),便于用戶對(duì)設(shè)備進(jìn)行調(diào)整和設(shè)置。
8. **耐用性**:探針臺(tái)卡盤通常采用量材料制造,以確保設(shè)備的耐久性和穩(wěn)定性,在復(fù)雜環(huán)境下也能長(zhǎng)期使用。
綜合以上特點(diǎn),探針臺(tái)卡盤在半導(dǎo)體測(cè)試、材料研究等領(lǐng)域中扮演著關(guān)鍵角色,極大地推動(dòng)了相關(guān)技術(shù)的發(fā)展。
微型高低溫真空探針臺(tái)主要用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體器件、納米技術(shù)等領(lǐng)域的研究和測(cè)試,其適用范圍包括但不限于以下幾個(gè)方面:
1. **半導(dǎo)體器件測(cè)試**:用于測(cè)量半導(dǎo)體材料和器件在高低溫環(huán)境下的電學(xué)性質(zhì)。
2. **材料分析**:能夠分析不同材料在極端溫度和真空條件下的性能變化,例如導(dǎo)電性、熱導(dǎo)性等。
3. **納米材料研究**:用于研究納米材料在不同溫度和環(huán)境下的行為,適合納米電子學(xué)研究。
4. **物理和化學(xué)實(shí)驗(yàn)**:在物理和化學(xué)實(shí)驗(yàn)中,對(duì)樣品進(jìn)行高低溫和真空下的測(cè)試和觀察。
5. **生物材料測(cè)試**:能夠測(cè)試生物材料在極端環(huán)境下的穩(wěn)定性和性能變化。
6. **儀器研發(fā)**:在新型儀器和設(shè)備研發(fā)過程中,對(duì)材料的性能進(jìn)行高低溫測(cè)試。
綜上所述,微型高低溫真空探針臺(tái)是一種多功能的實(shí)驗(yàn)設(shè)備,適用于多種研究領(lǐng)域,特別是在要求控制溫度和氣氛條件的實(shí)驗(yàn)中顯得尤為重要。
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