真空腔室Ф246×228mm,304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
分子泵進(jìn)口Pfeiffer分子泵
前級(jí)泵機(jī)械泵,北儀優(yōu)成
真空規(guī)全量程真空規(guī),上海玉川
濺射靶Ф2英寸永磁靶2支(含靶擋板)
濺射電源500W直流電源1臺(tái),300W射頻電源1臺(tái)
流量計(jì)20sccm/50sccm進(jìn)口WARWICK
控制系統(tǒng)PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套
冷水機(jī)LX-300
前級(jí)閥GDC-25b電磁擋板閥1套
旁路閥GDC-25b電磁擋板閥1套
限流閥DN63mm一套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
放氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺(tái)Ф100mm,高度:60~120mm可調(diào),旋轉(zhuǎn):0-20r/min可調(diào),可加熱至300℃
膜厚監(jiān)控儀進(jìn)口Inficon SQM-160單水冷探頭,精度0.1?(選配)
真空管路波紋管、真空管道等1套
設(shè)備機(jī)架機(jī)電一體化
預(yù)留接口CF35法蘭一個(gè)
備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
小型磁控濺射鍍膜機(jī)是一種用于材料表面處理和薄膜沉積的設(shè)備。它利用磁控濺射的原理,將靶材上的原子或分子濺射到基材表面,形成薄膜。該機(jī)器適合于科研機(jī)構(gòu)、小型實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)線中的小批量生產(chǎn)。
### 主要特點(diǎn):
1. **緊湊設(shè)計(jì)**:小型設(shè)備占用空間小,適合不同實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
2. **率**:能夠快速沉積薄膜,提高生產(chǎn)效率。
3. **多功能性**:支持多種靶材,可用于金屬、氧化物、氮化物等不同材料的沉積。
4. **控制**:具備氣體流量、壓強(qiáng)、功率等參數(shù)的控制,便于優(yōu)化沉積條件。
5. **良好的膜質(zhì)量**:能沉積出量的薄膜,適用于光學(xué)、電子、硬膜等領(lǐng)域。
### 應(yīng)用領(lǐng)域:
- 半導(dǎo)體工業(yè)
- 光學(xué)薄膜
- 太陽(yáng)能電池
- 儲(chǔ)能材料
- 防護(hù)涂層等。
### 注意事項(xiàng):
- 操作前需熟悉設(shè)備手冊(cè),確保安全使用。
- 定期維護(hù)設(shè)備,保持良好的工作狀態(tài)。
如果你有具體的功能要求或使用場(chǎng)景,可以提供更多信息,以便于給出更詳細(xì)的建議。
PVD(物相沉積)鍍膜機(jī)是一種用于在基材表面沉積薄膜的設(shè)備。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過(guò)物相沉積方法,PVD鍍膜機(jī)可以在基材表面沉積金屬、合金、氧化物、氮化物等薄膜材料,用于改善表面性能。
2. **表面改性**:通過(guò)鍍膜,可以提高基材的耐磨性、耐腐蝕性、抗氧化性等,延長(zhǎng)材料的使用壽命。
3. **功能涂層**:PVD鍍膜可以賦予材料特定的功能,例如光學(xué)性能(反射、透射)、導(dǎo)電性能、熱導(dǎo)性等,適用于電子、光學(xué)等行業(yè)。
4. **裝飾效果**:在一些應(yīng)用中,PVD鍍膜機(jī)可用于實(shí)現(xiàn)裝飾性涂層,提高產(chǎn)品的美觀性和附加值。
5. **薄膜**:PVD技術(shù)能夠在較低的溫度下沉積量的薄膜,適合用于一些熱敏材料的表面處理。
6. **環(huán)境友好**:相比于化學(xué)鍍膜方法,PVD過(guò)程通常不需要使用有毒化學(xué)物質(zhì),減小了對(duì)環(huán)境的影響。
7. **可控性強(qiáng)**:PVD鍍膜機(jī)可以控制膜厚、沉積速率等參數(shù),實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性和一致性的薄膜性能。
總之,PVD鍍膜機(jī)在現(xiàn)代制造業(yè)中發(fā)揮著重要作用,廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、汽車、等多個(gè)領(lǐng)域。

樣品臺(tái),通常用于實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)生產(chǎn)和研究等領(lǐng)域,具有以下幾個(gè)特點(diǎn):
1. **穩(wěn)定性**:樣品臺(tái)通常設(shè)計(jì)得穩(wěn)定,以確保在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)或觀察時(shí),樣品受到外部震動(dòng)或干擾的影響。
2. **調(diào)整功能**:許多樣品臺(tái)具有高度可調(diào)節(jié)性,允許用戶根據(jù)需要調(diào)整樣品的位置和角度,以便于觀察和測(cè)量。
3. **易清潔性**:樣品臺(tái)通常采用易于清洗的材料,能夠防止樣品的污染,同時(shí)在使用過(guò)程中保持衛(wèi)生。
4. **多功能性**:某些樣品臺(tái)配備了不同的附件和配件,支持實(shí)驗(yàn)需求,例如光學(xué)顯微鏡、測(cè)量?jī)x器等。
5. **適應(yīng)性強(qiáng)**:樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)往往可以根據(jù)不同類型的樣品(如液體、固體、粉末等)進(jìn)行調(diào)整,以適應(yīng)不同的實(shí)驗(yàn)需求。
6. **材料選用**:樣品臺(tái)通常采用耐腐蝕、耐高溫或其他特殊材料,以適應(yīng)不同實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
7. **標(biāo)記系統(tǒng)**:許多樣品臺(tái)上會(huì)有標(biāo)記或者刻度,使用戶能夠定位樣品位置。
8. **光學(xué)性能**:在光學(xué)實(shí)驗(yàn)中,樣品臺(tái)可能會(huì)考慮透光性和反射性,以確保觀測(cè)效果的清晰度。
這些特點(diǎn)使得樣品臺(tái)在不同領(lǐng)域的應(yīng)用中顯得尤為重要,能夠提高實(shí)驗(yàn)的性和效率。

桌面型磁控濺射鍍膜儀是一種廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、電子學(xué)、光學(xué)等領(lǐng)域的設(shè)備,其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:可在基材上沉積薄膜,形成不同厚度和成分的薄膜材料。
2. **材料多樣性**:支持多種靶材(如金屬、合金、氧化物等),能夠制作出不同種類的薄膜。
3. **優(yōu)良的膜質(zhì)量**:采用磁控濺射技術(shù),可以有效提高薄膜的均勻性和致密性,提高膜的性能。
4. **可調(diào)節(jié)參數(shù)**:可以調(diào)節(jié)濺射功率、氣體流量、基片溫度等參數(shù),以滿足不同工藝要求。
5. **大面積鍍膜**:由于其設(shè)計(jì),可以適用于大面積基片的鍍膜需求,在科研和工業(yè)生產(chǎn)中具有較高的應(yīng)用價(jià)值。
6. **過(guò)程控制**:配備監(jiān)測(cè)系統(tǒng),可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚度、氣氛等,有助于控制沉積過(guò)程。
7. **易于操作**:桌面型的設(shè)計(jì)使得設(shè)備更加緊湊,操作相對(duì)簡(jiǎn)單,適合實(shí)驗(yàn)室環(huán)境使用。
8. **真空技術(shù)**:工作過(guò)程中保持真空環(huán)境,減少污染,提高沉積質(zhì)量。
這種設(shè)備在半導(dǎo)體器件制造、光學(xué)涂層、傳感器、太陽(yáng)能電池等多個(gè)領(lǐng)域具有重要應(yīng)用價(jià)值。

磁控濺射是一種常用的薄膜沉積技術(shù),具有以下幾個(gè)特點(diǎn):
1. **高沉積速率**:由于使用了磁場(chǎng)增強(qiáng)了等離子體的密度,從而提高了濺射粒子的產(chǎn)生率,能夠?qū)崿F(xiàn)較高的沉積速率。
2. **均勻性**:磁控濺射能夠在較大面積上實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜沉積,適用于大面積涂層和均勻薄膜的要求。
3. **良好的附著力**:由于濺射過(guò)程中粒子能量較高,薄膜與基底之間的附著力較好,減少了薄膜剝離的風(fēng)險(xiǎn)。
4. **低溫沉積**:相比于其他沉積技術(shù),磁控濺射可以在相對(duì)較低的溫度下進(jìn)行,適合于對(duì)溫度敏感的材料。
5. **多材料沉積**:能夠?qū)崿F(xiàn)多種材料的復(fù)合沉積,包括金屬、絕緣體和半導(dǎo)體等,實(shí)現(xiàn)材料的多樣性。
6. **可控性強(qiáng)**:沉積過(guò)程中的參數(shù)(如氣體壓力、功率、基板溫度等)對(duì)薄膜的性質(zhì)有較大影響,因此可以通過(guò)控制這些參數(shù)來(lái)調(diào)節(jié)薄膜的厚度和質(zhì)量。
7. **環(huán)保性**:相較于某些化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù),磁控濺射通常不涉及毒性氣體,環(huán)境友好。
這些特點(diǎn)使得磁控濺射在電子、光電、硬涂層等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
樣品臺(tái)是一種用于放置和支撐樣品的實(shí)驗(yàn)設(shè)備,廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。以下是樣品臺(tái)的主要適用范圍:
1. **生物醫(yī)學(xué)研究**:在顯微鏡下觀察細(xì)胞、組織切片和其他生物樣品。
2. **材料科學(xué)**:用于測(cè)試金屬、聚合物、陶瓷等材料的物理和化學(xué)性質(zhì)。
3. **化學(xué)分析**:在化學(xué)實(shí)驗(yàn)中放置反應(yīng)瓶、試劑和其他化學(xué)物質(zhì)。
4. **電子顯微鏡**:在電子顯微鏡中支撐和固定樣品,以便進(jìn)行高分辨率觀察。
5. **光學(xué)顯微鏡**:在光學(xué)顯微鏡中觀察細(xì)小結(jié)構(gòu)、顆粒和晶體等。
6. **工業(yè)檢測(cè)**:用于質(zhì)量控制和檢測(cè)產(chǎn)品樣品,如電子元件、機(jī)械零件等。
不同類型的樣品臺(tái)(如移動(dòng)樣品臺(tái)、平面樣品臺(tái)等)可以根據(jù)具體需求進(jìn)行選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)或檢測(cè)的需求。
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